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Strahlpumpen und Teile der vorgenannten Waren; Pumpen [Maschinen]; Absaugpumpe; Vakuumpumpen [Maschinen]; Vakuumabscheidepumpen; Gasförderpumpe; Gasrückhaltepumpen; Pumpen nach dem Prinzip der nicht verdampfbaren Getter (NEG); Vakuumpumpen [Maschinen]; Metallscheiben und Stapel daraus für Pumpen; Massive oder beschichtete Metallscheiben und Stapel daraus für Pumpen; Scheiben aus Zirkonium, Eisen und Vanadium und Stapel daraus für Pumpen; Mit Zirkonium, Eisen und Vanadium beschichtete Scheiben und Stapel daraus für Pumpen; Pumpenregler; Vakuumpumpensteuerungen; Getterpumpen-Steuerungen; NEG-Pumpensteuerungen; Teile und Zusatzteile für alle vorstehend genannten Waren
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Getterpumpen und Teile der vorgenannten Waren; Getter-Geräte und Strahlkomplexe, nämlich Teile der folgenden Waren: Wissenschaftliche und Forschungsapparate und -instrumente, insbesondere Laborgeräte mit Vakuumkammern zum Experimentieren, Ätzen, Beschichten unter Vakuum, Geräte für Rasterelektronenmikroskopie (SEM) und Transmissionselektronenmikroskopie, Massenspektrometrie und Teile der vorgenannten Waren; Optoelektronische Bauelemente; Software für den Betrieb von Vakuumpumpen; Gassorptionsgeräte, insbesondere Getter-Bestandteile oder Getter-Patronen für Laborzwecke mit einem nicht verdampfenden Getter-Metall, nämlich Zirkonium, Titan, Tantal oder Niob, Legierungen von zwei oder mehreren dieser Metalle untereinander oder mit anderen Metallen; Elektronische Steuerapparate und -instrumente zur Verwendung mit Vakuumpumpen für die Perfektionierung und Aufrechterhaltung des Vakuums und Teile der vorgenannten Waren; Apparate und Instrumente für die wissenschaftliche Forschung in Laboren in Bezug auf die selektive Absorption von Gasen; Vakuumverbessernde Apparate und Instrumente sowie deren Teile, nämlich Teile der folgenden Waren: Wissenschaftliche und Forschungsapparate und -instrumente, insbesondere Pumpstationen, Vakuumkammern, Analysegeräte, Messapparate; Messapparate und -instrumente, Einschließlich die vorstehend genannten Waren zur Verwendung für die Messung von Vakuum und Feuchtigkeit; Gettervorrichtungen für wissenschaftliche Zwecke mit Metalllegierungspulver zur Sorption von Gasen oder zur Verbesserung und Aufrechterhaltung des Vakuums; Apparate und Instrumente zur Herstellung und Aufrechterhaltung des Vakuums bei folgenden Waren: Wissenschaftliche und elektronische Apparate, Lampen, Monitore, Flachbildschirme und Displays, Kineskope, Fernsehbildschirme; Teile und Zusatzteile für alle vorstehend genannten Waren; Elektrische Steuervorrichtungen zur Verwendung in Bezug auf folgende Waren: Pumpen, Vakuumpumpen, Getterpumpen, Ionengetterpumpen, Nicht verdampfbare Getterpumpen; Leistungsregler zur Verwendung in Bezug auf folgende Waren: Pumpen, Vakuumpumpen, Ionenpumpen, Getterpumpen, Ionengetterpumpen, Nicht verdampfbare Getterpumpen; Elektrische und elektronische Steuerungen zur Verwendung in Bezug auf folgende Waren: Pumpen, Vakuumpumpen, Getterpumpen, Ionengetterpumpen, Nicht verdampfbare Getterpumpen; Instrumente und Apparate zur Prüfung, Steuerung, Erkennung, Überwachung und Analyse von Materialien beim Betrieb der folgenden Waren: Pumpen, Vakuumpumpen, Ionenpumpen, Getterpumpen, Ionengetterpumpen, Nicht verdampfbare Getterpumpen; Anzeigen für Steuervorrichtungen und Steuerungen zur Verwendung in Bezug auf folgende Waren: Pumpen, Vakuumpumpen, Ionenpumpen, Getterpumpen, Ionengetterpumpen, Nicht verdampfbare Getterpumpen