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Teile und Komponenten von Halbleiterproduktionsanlagen; Teile und Komponenten von Hochvakuumanlagen, nämlich von Hochvakuumanlagen für die Herstellung von Halbleitern oder Halbleiterbauelementen, von Hochvakuumanlagen für die Herstellung von Elektronenröhren, Bildröhren, Röntgenröhren und Vakuum-Fluoreszenzanzeigen
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Teile und Komponenten von Hochvakuumanlagen, nämlich von Hochvakuumanlagen für die Forschung und von Hochvakuumanlagen für Elektronenmikroskope sowie von Hochvakuumanlagen zum Betreiben von Magnetrons, Elektronenstrahlquellen und Teilchenbeschleunigern für wissenschaftliche und Forschungszwecke
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Teile und Komponenten von Hochvakuumanlagen, nämlich von Hochvakuumanlagen für die Einschmelzung metallischer Werkstoffe
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Reparatur und Wartung von Anlagen und Systemen zur Herstellung von Halbleitern und Halbleiterbauelementen sowie von Teilen und Komponenten derartiger Anlagen und Systeme; Reparatur und Wartung von Hochvakuumanlagen und Teilen derselben; Reinigen, insbesondere Präzisionsreinigen, von Anlagen und Systemen zur Herstellung von Halbleitern und Halbleiterbauelementen, Hochvakuumanlagen sowie von Teilen und Komponenten derartiger Anlagen und Systeme, insbesondere Reinigen von Oberflächen der genannten Anlagen, Systeme, Teile und Komponenten; Beschichten zur Reparatur von industrietechnischen Anlagen und Teilen derselben; Reparatur und Wartung von Halbleiterfertigungsmaschinen und Halbleiterfertigungssystemen; Entfernen von Oberflächenbeschichtungen von industrietechnischen Anlagen und Teilen derselben zu Reinigungszwecken
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Beschichten von Bauteilen und Komponenten von Anlagen und Systemen zur Herstellung von Halbleitern und Halbleiterbauelementen sowie von Hochvakuumanlagen, insbesondere von Oberflächen der genannten Anlagen und Systeme sowie von Bauteilen und Komponenten derselben; Behandlung und Beschichtung von Oberflächen von Hochvakuumanlagen, Handlingsystemen wie insbesondere Stepper für die Halbleiterfertigung, und Bauteilen und Komponenten derartiger Anlagen und Systeme, die genannten Anlagen und Systeme, insbesondere zur Herstellung von Halbleitern und Halbleiterbauelementen; Behandlung und Beschichtung von Metalloberflächen