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Beschichtungsmittel [Chemikalien für die Vakuumbeschichtung], ausgenommen Farben; chemische Präparate für die Herstellung von Oberflächenbeschichtungen mittels physikalischer Gasphasenabscheidung; Festkörper [Targets] aus Keramik für die Kathodenzerstäubung
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Festkörper [Targets] aus Metall für die Kathodenzerstäubung
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Maschinen für die Vakuumbeschichtung von scheibenförmigen Kunststoffsubstraten mittels Zerstäubung oder Aufdampfen von Metallen, Metalllegierungen, Metalloxiden oder Metallnitriden für die Produktion von optischen Speichermedien; Maschinen zur Vakuumbeschichtung, insbesondere durch physikalische oder chemische Gasphasenabscheidung, auf ebenen und dreidimensionalen Substraten, insbesondere aus Kunststoff, Glas, Keramik oder Metall, insbesondere für die Bereiche Nahrung, Getränke, Kosmetik, Schmuck, Automobile, Optik, Sanitärtechnik, Beleuchtung, Medizintechnik, Unterhaltungs- und Haushaltselektronik und andere industrielle Anwendungen; Maschinen zur Abscheidung von Schichtsystemen im Vakuum aus Metall oder Keramik für die Produktion von Speichermedien, insbesondere scheibenförmigen Speichermedien; Maschinen zur Abscheidung von Schichten im Vakuum, insbesondere transparenten, leitenden, metallischen, halbleitenden, nichtleitenden, dielektrischen, transparenten/elektrisch leitfähigen oder passivierenden Schichten durch physikalische oder chemische Gasphasenabscheidung auf Substraten, insbesondere auf Glas oder Silizium; Maschinen für die Großflächenbeschichtung durch physikalische Gasphasenabscheidung, insbesondere zur Abscheidung von Kupfer, Indium, Gallium, Selen, Schwefel, Indiumsulfid, Natriumfluorid, Kaliumfluorid, Aluminium oder Kombinationen dieser Materialien auf Glas oder flexiblen Substraten für die Herstellung von Dünnschichtsolarzellen; Maschinen für die Großflächenbeschichtung durch physikalische Gasphasenabscheidung, insbesondere zur Abscheidung von Cadmium, Tellur, Cadmiumsulfid, Cadmiumchlorid oder Kombinationen dieser Materialien auf Glassubstraten für die Herstellung von Dünnschichtsolarzellen; Maschinen für metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MO-CVD) und metallorganische Dampfphasenepitaxie (MOVPE); Maschinen für die Großflächenbeschichtung im Vakuum, insbesondere für horizontale oder vertikale Kathodenzerstäubung, auf Glas, Metall oder Kunststoffsubstraten, insbesondere für die Produktion von Solarzellen; Maschinen für Spritzguss, Vakuumbeschichtung, Lackierung (Rotationsbeschichtung), Verklebung, UV-Aushärtung und Qualitätskontrolle für die Produktion von optischen Datenspeichern, insbesondere CD, DVD5/10, DVD9; Maschinen für Spritzguss, Vakuumbeschichtung, Lackierung (Rotationsbeschichtung), (Nass-)Prägung, UV-Aushärtung und Qualitätskontrolle von optischen Datenträgern, insbesondere Optisches Speichermedium, insbesondere BD25/33/50/66/100, BD-UHD; Spritzgussmaschinen, insbesondere für dünnwandige, optische Bauteile und Mikrosystemtechnik; Maschinen für Nanoprägelithografie mittels (Nass-)Prägung, insbesondere für die Produktion von beugenden optischen Elementen, Mikrofluidik und Mikrosystemtechnik (MEMS); Maschinen für die Reinigung, Vakuumbeschichtung, Rotationsbeschichtung für Fotolack, Laserbelichtung, Fotolackentwicklung, Laserstrahlaufzeichnung und Qualitätsprüfung, insbesondere für die Produktion von Glasmastern für CD, DVD 5/10, DVD 9, Optisches Speichermedium und andere Speicherformate; Maschinen für die Abscheidung von Schichtsystemen aus magnetischen und nicht magnetischen Materialien mittels physikalischer Gasphasenabscheidung, insbesondere Abscheidung mit rotierendem Substrat, für Forschung, Entwicklung und Produktion; Maschinen für die Abscheidung von Schichtsystemen aus magnetischen und nicht magnetischen Materialien mittels physikalischer Gasphasenabscheidung, insbesondere Abscheidung mit linear-dynamischer Substratbewegung, für die Forschung, Entwicklung und Produktion von MRAM-Speicherzellen und magnetischen Sensoren, insbesondere für Anisotropie Magnetoresistance (AMR), Giant Magnetoresistance (GMR) und Tunnel Magnetoresistance (TMR) Strukturen; Maschinen für die Wärmebehandlung (Heizen und Kühlen) von vorbeschichteten, großflächigen Substraten in einer kontrollierten Gasatmosphäre für die Produktion von Solarzellen, insbesondere Dünnschichtsolarzellen; Inlinemaschinen für die nasschemische Behandlung, insbesondere Ätzen, Reinigung, Beschichtung und Trocknung, insbesondere für Dünnschichtsolarzellen; Maschinen für die nasschemische Behandlung von Substraten in Chargen, insbesondere Ätzen, Reinigung, Beschichtung und Trocknung von Substraten, insbesondere von Halbleiter- oder Glaswafer für die Produktion von kristallinen Solarzellen, Halbleiterbauelementen und optischen Bauteilen; Maschinen für nasschemische Abscheidung von Beschichtungen in Bädern, insbesondere Cadmiumsulfid, Zinkoxidsulfid und Zinksulfid für Dünnschichtsolarzellen; Inlinemaschinen für die nasschemische Behandlung, insbesondere Reinigung, Ätzen (mit Säuren und Laugen) und Trocknung, für die einseitige und beidseitige Bearbeitung von Glas- und Halbleitersubstraten; Maschinen für die nasschemische Behandlung von Materialchargen, insbesondere chemisches Ätzen, Reinigung und Trocknung von monokristallinem und polykristallinem Silizium, insbesondere Brocken und Ingotabschnitten; Maschinenkombinationen für Automatisierung, Vakuumbeschichtung, Oberflächenbehandlung, Lackierung (Sprühbeschichtung), UV-Aushärtung oder Trocknung, zur Veredelung von ebenen und dreidimensionalen Substraten, insbesondere aus Kunststoff, Glas, Keramik oder Metall, insbesondere für die Bereiche Nahrung, Getränke, Kosmetik, Schmuck, Automobile, Optik, Sanitärtechnik, Beleuchtung, Medizintechnik, Unterhaltungs- und Haushaltselektronik und andere industrielle Anwendungen; Maschinenkombinationen für Automatisierung, Vakuumbeschichtung, nasschemische Behandlung, Laserablation (Laserverdampfen), Siebdruck oder thermische Behandlung, für die Herstellung von Solarzellen, insbesondere Solarzellen aus Silizium; Maschinenkombinationen für Automatisierung, Vakuumbeschichtung, nasschemische Behandlung, Laserablation (Laserverdampfen), thermische Behandlung, Lamination (thermisches Fügen) und Kontaktierung, für die Herstellung von Solarzellen, insbesondere Dünnschichtsolarzellen
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Messapparate und -instrumente als Teile von Maschinen und/oder Maschinenkombinationen
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Kunststoffbehälter für Lagerung, Transport und Verarbeitung von Substraten, insbesondere Siliziumwafer
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Installations-, Reparatur- und Wartungsarbeiten in Bezug auf Maschinen, Maschinenkomponenten und Maschinenkombinationen; Installations-, Reparatur- und Wartungsarbeiten in Bezug auf Messapparate und -instrumente als Teile von Maschinen oder Maschinenkombinationen
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Erziehung; Ausbildung und Durchführung von Schulungen in Bezug auf Installation, Wartung und Reparatur von Maschinen und Maschinenkombinationen
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Wissenschaftliche und technologische Dienstleistungen und Forschungsarbeiten und diesbezügliche Designerdienstleistungen; Industrielle Analyse und -Forschungsdienstleistungen; Entwurf und Entwicklung von industriellen Produktionsanlagen; Ingenieurdienstleistungen, technische Beratung, Planung, Konstruktion und Realisierung von industriellen Fertigungseinrichtungen; Analyse, Entwicklung, Forschung und Optimierung in Bezug auf Punktion, Produktivität und Kosten industrieller Fertigungsprozesse; Analyse, Entwicklung, Forschung und Optimierung industrieller Produkte und Apparate