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Druckventile; Flüssigkeitszufuhrsysteme, bestehend hauptsächlich aus einer Pumpe, einem Verdampfer und einer Leistungssteuerung zum Verdampfen einer Flüssigkeit in ein Gas und zur Lieferung des Gases an eine Prozesskammer; Mikrowellen-Generatoren
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Sensoren und elektrische Instrumente und Geräte, Leistungsversorgungen, Signalaufbereitungsgeräte, Analog- und Digital-Messgeräte zur Messung und Steuerung des Strömungsmitteldruckes, des Vakuums und der Strömung; Restgas-Analysatoren; Prozessüberwachungsgeräte und optische Überwachungsgeräte zur Feststellung von Gaszusammensetzungen innerhalb einer Prozesskammer, Quadrapol-Massenspektrometer; elektrische Analog-/Digital-Schnittstellen-Anpassungsgeräte, Überleiteinrichtungen und Karten-Module; Hochfrequenz-, Gleichstrom- und Mikrowellen-Leistungsversorgungen; thermische elektrische und druckbasierte Massenstrom-Steuerungsgeräte; Gas-Sticks, bestehend aus Massenstrom-Steuerungen, Druckwandlern, Steuerventilen, Trennventilen und Volumen; Helium-Leckdetektoren; Gasdetektoren und Analysatoren zur Überwachung von Gasemissionen zur Sicherheit und Einhaltung von Vorschriften; Eichausrüstungen für Druck- und Strömungswandler und für Strömungsmessgeräte; Vakuum-Messsysteme, Vakuum-Messgeräte, Wandler; Überprüfungsgeräte für Prozess- oder Spülgase; Vakuum-Mess- und Schaltausrüstungen, nämlich Vakuumsensor-Schalter; Hardware und Software zum Messen der Lichtdurchlässigkeit, des Reflexionsvermögens, der optischen Dichte und der Dicke von Metall-Dünnfilmen und zur Lieferung topografischer Bilder hiervon; Software für den Betrieb von optischen Spektrometern; Software für den Betrieb von Quadrapol-Massenspektrometern; Software zur Feststellung des Vorhandenseins und zur Messung von Restverunreinigungen in einem Halbleiterprozess; elektronische Steuergeräte, nämlich Mikroprozessor basierte Datenkommunikationseinrichtungen zur Kommunikation von Daten zwischen Quadrapol-Massenanalysatoren und einem Computer
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Elektrische und elektronische Leistungsgeneratoren zur Umwandlung von Energie von chemischen Gasreaktionen in Leistung für den Ablauf von Prozessen innerhalb einer Prozesskammer; Gasdruckventile zur Steuerung und zum Absperren von Gasströmungen; Vakuum- und Gaskomponenten-Heizeinrichtungen; Gasfilter- und Reinigungsgeräte; Heizeinrichtungen, elektrische Heizmäntel und elektrisch beheizbare Auffangbehälter zum Auffangen von Abfallmaterialien, die aus einer Prozesskammer austreten