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Vakuumpumpen und aus Vakuumpumpen bestehende Vakuumpumpstände; Vakuumpumpen [Maschinen] sowie daraus zusammengesetzte Vakuumpumpstände; Antriebe für Vakuumpumpen; Wellenlager für Vakuumpumpen; Teile von Vakuumpumpen und Vakuumpumpstände, insbesondere Ölabscheider, Kondensatabscheider, Staubabscheider, Filter, Dampfkondensatoren, Flansche mit integrierten Kühlern und Steuergeräten und Kontrollgeräten, welche speziell angepasst und nicht eigenständig nutzbar sind; Ventile [Maschinenteile]; vakuumtechnische Anlagen, im Wesentlichen bestehend aus Vakuumpumpen und angepasstem, nicht eigenständig nutzbarem Zubehör für Vakuumpumpen, insbesondere Ölabscheider, Kondensatabscheider, Staubabscheider, Filter, Dampfkondensatoren, Flansche, Ventile, Vakuumkammern und prozesstechnische Einbauten [als Teile dieser Anlagen] mit integrierten Kühlern, Steuergeräte, Kontrollgeräte, Messgeräte und Verbindungsleitungen; Teile von vakuumtechnischen Anlagen [Maschinen], insbesondere Stromdurchführungen, Thermoelementdurchführungen, Fluiddurchführungen, Rohrdurchführungen, Drehdurchführungen, Dreh-/ Schiebedurchführungen, Schiebedurchführungen als speziell angepasste und nicht eigenständig nutzbare Teile; Teile von Vakuumpumpen und Vakuumpumpstände, speziell angepasst und nicht eigenständig nutzbar, soweit in Klasse 7 enthalten; Automatische Ventile für den Gaseinlass als Maschinenteile
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Mess-, Regel-, Steuer- und Kontrollgeräte für Vakuumpumpen und Vakuumpumpstände [keine Maschinenteile]; Vakuumgeräte für Laborzwecke; Automatische Vakuumkontrollgeräte; Automatische Vakuumsteuergeräte; Messgeräte; Prüfgeräte; Lecksuchgeräte; Restgasanalysegeräte; Mess-, Regel-, Steuer- und Kontrollgeräte für den Gaseinlass; vakuumdichte, mechanische und elektrische Durchführungen als Teile von Mess-, Regel-, Steuer- und Kontrollgeräten, insbesondere Stromdurchführungen, Thermoelementdurchführungen, Fluiddurchführungen, Rohrdurchführungen, Drehdurchführungen, Dreh-/Schiebedurchführungen, Schiebedurchführungen, welche speziell angepasst und nicht eigenständig nutzbar sind; Elektrische Durchführungen aus Metall, insbesondere Stromdurchführungen, Thermoelementdurchführungen; Teile von Kontroll- und Steuergeräten für Vakuumpumpen und Vakuumpumpstände als speziell angepasste und nicht eigenständig nutzbare Teile; Vakuummessgeräte; Druckmessgeräte