7
Anlagen, Maschinen und Werkzeugmaschinen zur Bearbeitung von Substraten, insbesondere von Substraten aus Halbleitermaterial, Silizium, Glas, Metall, Kunststoff oder Polymermaterial; Anlagen, Maschinen und Werkzeugmaschinen zur Beschichtung von Substraten mittels chemischer oder physikalischer Gasphasenbescheidung; Vakuumbeschichtungsmaschinen und -anlagen; Anlagen, Maschinen und Werkzeugmaschinen zur Bearbeitung von Substraten mittels Ionenstrahl; Anlagen zur Beschichtung und Ätzung von Substraten, insbesondere von Substraten aus Halbleitermaterial, Silizium, Glas, Metall, Kunststoff oder Polymermaterial, mittels Ionenstrahl; Anlagen, Maschinen und Werkzeugmaschinen zur Bearbeitung von optischen Bauelementen, insbesondere von optischen Linsen und optischen Spiegeln; Anlagen, Maschinen und Werkzeugmaschinen zur Bearbeitung von elektronischen Bauelementen, insbesondere von mikroelektronischen Bauelementen, Chips und integrierten Schaltkreisen
9
Elektrische Apparate, nämlich Sputteranlagen, Elektronenstrahlanlagen und Ionenstrahlanlagen; Mess-, Signal-, Kontrollapparate und -instrumente für Maschinen und Anlagen zur Behandlung von Substraten, insbesondere von Substraten aus Halbleitermaterial, Silizium, Glas, Metall, Kunststoff oder Polymermaterial; Hardware für die Datenverarbeitung für Maschinen und Anlagen zur Behandlung von Substraten, insbesondere von Substraten aus Halbleitermaterial, Silizium, Glas, Metall, Kunststoff oder Polymermaterial; Computer und Computersoftware für Maschinen und Anlagen zur Behandlung von Substraten, insbesondere von Substraten aus Halbleitermaterial, Silizium, Glas, Metall, Kunststoff oder Polymermaterial; Ionenstrahlerzeugungsanlagen; Ionenstrahlätzanlagen; Ionenstrahlversorgungsgeräte; Ionisierungsapparate für wissenschaftliche oder Laborzwecke; Software zur Verwendung bei der Verarbeitung von Halbleiter-Wafern; Halbleiterbauelemente, insbesondere von mikroelektronischen Halbleiterbauelementen
37
Installation von Industriemaschinen; Reparatur von Industriemaschinen; Wartung von Industriemaschinen; Installation, Reparatur und Wartung von Anlagen, Maschinen und Werkzeugmaschinen zur Bearbeitung von Substraten, insbesondere von Substraten aus Halbleitermaterial, Silizium, Glas, Metall, Kunststoff oder Polymermaterial; Installation, Reparatur und Wartung von Ionenstrahlanlagen und Elektronenstrahlanlagen; Installation, Reparatur und Wartung von Mess-, Signal-, Kontrollapparaten und -instrumenten für Maschinen und Anlagen zur Behandlung von Substraten, insbesondere von Substraten aus Halbleitermaterial, Silizium, Glas, Metall, Kunststoff oder Polymermaterial; Installation von Computern; Reparatur von Computern; Wartung von Computern
40
Materialbearbeitung mittels Ionenstrahl; Ätzen, insbesondere unter Verwendung eines Ionenstrahls; Aufbringung von Beschichtungen mittels Vakuumbedampfungsmethoden; Verarbeitung und Bearbeitung von Substraten, insbesondere von Substraten aus Halbleitermaterial, Silizium, Glas, Metall, Kunststoff oder Polymermaterial; Verarbeitung und Bearbeitung von optischen Bauelementen; Verarbeitung und Bearbeitung von elektronischen Bauelementen
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Ingenieursdienstleistungen; Entwurf und Entwicklung von Industriemaschinen und -anlagen; Entwurf und Entwicklung von Anlagen, Maschinen und Werkzeugmaschinen zur Bearbeitung von Substraten, insbesondere von Substraten aus Halbleitermaterial, Silizium, Glas, Metall, Kunststoff oder Polymermaterial; Entwurf und Entwicklung von Ionenstrahlanlagen; Entwicklung industrieller Verfahren; Entwicklung industrieller Verfahren zur Bearbeitung von Substraten, insbesondere von Substraten aus Halbleitermaterial, Silizium, Glas, Metall, Kunststoff oder Polymermaterial