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Maschinen, nämlich Fabrikationsvorrichtungen für die Herstellung und Bespeicherung von Halbleiterscheiben, magnetischen Medien und flachen Bedienungspultanzeigen; Bestandteile, Ersatzteile und Zubehör (soweit in der Klasse 7 enthalten) für alle vorgenannten Waren, einschliesslich Motoren
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Wissenschaftliche, elektrische und elektronische (soweit in Klasse 9 enthalten), Signal- und Kontrollapparate und -instrumente (soweit in Klasse 9 enthalten); Datenverarbeitungsgeräte; Computer Hardware, Software und Peripheriegeräte und -instrumente; Standard mechanische Schnittstellensysteme (SMIF) (bestehend aus geschlossenen Behältern, Kassetten, Robotern für den Warentransport und die Warenhandhabung, Befestigungen für Halbleiterscheiben und Einlagen zur Erhaltung einer ultra-reinen Umgebung, Luftfilterungsvorrichtung) für die Herstellung und Bespeicherung von Halbleiterscheiben, magnetischen Medien und flachen Bedienungspultanzeigen; Vorrichtungen für die Bespeicherung und den Transport von Halbleiterscheiben, magnetischen Medien und flachen Bedienungspultanzeigen; Vorrichtungen zum Schutz von Halbleiterscheiben, magnetischen Medien und flachen Bedienungspultanzeigen vor Kontamination in der Herstellungsumgebung (soweit in Klasse 9 enthalten); geschlossene Scheibenkassettenbehälter, Verarbeitungsapparaturgehäuse, nämlich Kammern, die die einzelnen Teile des Verarbeitungsvorrichtungen umgeben und vollautomatisierte und manuel gesteuerte Übertragungsvorrichtungen; umgebungsbezogene Steuer- und Überwachungsvorrichtungen für die Gewährleistung der Verfahrensstabilität und für die schrittweise Herstellung ("work-in-progress") von Halbleiterscheiben, magnetischen Medien und flachen Bedienungspultanzeigen; Vorrichtungen zur Kontrolle der Feuchtigkeit, der Temperatur und der Kontamination in Klein-Reinraumumgebungen; Vorrichtungen zur Führung und Fertigungsplanung von Halbleiterscheiben, magnetischen Medien und flachen Bedienungspultanzeigen während der Herstellung und Bespeicherung; Computersoftware für die Führung, Steuerung und Fertigungsplanung bzw. Verarbeitung und Herstellung von Halbleiterscheiben, magnetischen Medien und flachen Bedienungspultanzeigen in Reinräumen; Bestandteile, Ersatzteile und Zubehör (soweit in Klasse 9 enthalten) für alle vorgenannten Waren
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Mit den vorgenannten Waren als Einheit verkaufte Benutzerhandbücher