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Maschinen für die Herstellung und Verpackung von elektronischen Halbleiterchips; Maschinen für die Fertigung von Halbleitern und Bauteile dafür und Dazugehörige Bestandteile; Maschinen für die Fertigung von Halbleitern; Maschinen zur Herstellung von Halbleitern und Systeme, bestehend aus einer Vakuumkammer zur Unterbringung von Halbleiterscheiben und von Bauteilen und Maschinen zur Handhabung und Übertragung von Halbleiterscheiben in und aus Vakuumkammern und Bauteile dafür und Dazugehörige Bestandteile; Maschinen für die Bearbeitung von Halbleiterscheiben, nämlich, Maschinen zur Halbleiterplättchenbearbeitung; Industrieroboter zur Handhabung von Halbleiterscheiben; Maschinen für die Herstellung und Verpackung von elektronischen Chips; Industrieroboter; Industrielle Oberflächenbehandlungsausrüstungen, nämlich Vakuum-Plasmabehandlungssysteme, bestehend aus einem Hochfrequenz-Hochspannungsgenerator, Steuerungen und einer Behandlungskammer; Bauteile dafür und Dazugehörige Bestandteile
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Elektrische Reaktoren für die Verarbeitung von Halbleiter-Wafern; Reaktoren zur Verarbeitung von Halbleiterplatten, nämlich chemische Reaktoren für die thermische Behandlung von Halbleitern; Elektronische Steuerungen, zur Verwendung in den folgenden Bereichen: Halbleiterindustrie; Elektronische Steuerungssysteme, zur Verwendung in Bezug auf folgende Waren: Maschinen zur Herstellung von Halbleitern; Chemische Laborreaktoren; Roboter als elektronische Steuerungsgeräte, nämlich, Laborroboter; Elektronische Maschinensteuerungen; Reaktoren zur Verarbeitung von Halbleiterplatten für die chemische Behandlung und die thermische Behandlung sowie die chemische Reinigung mit Hilfe eines Gasphasenprozesses, auch unter Verwendung von Plasma, nämlich Gasentladung; Konstruktionsteile und Bestandteile für alle vorstehend genannten Waren