7
Apparate und Instrumente für Dünnfilmverarbeitung, nämlich Werkzeuge für die direkte Atomschichtablagerung für Plasmaatomschichtablagerung, thermische Atomschichtablagerung, Atomschichtepitaxie, Ätzwerkzeuge für Atomschichtätzen und Clusterwerkzeuge zum Ätzen; Maschinen und Instrumente für Dünnfilmverarbeitung, nämlich Werkzeuge für die Atomschichtablagerung für Plasmaatomschichtablagerung, thermische Atomschichtablagerung, Atomschichtepitaxie, Ätzwerkzeuge für Atomschichtätzen und Clusterwerkzeuge zum Ätzen mit automatisierter Handhabung
9
Prototypteile für Produktentwicklung, die elektromechanische Mikrosysteme (MEMS) und andere Technologie im Mikromaßstab und Mesomaßstab verwenden, nämlich elektrische MEMS-Relais, MEMS-Stromkreisunterbrecher, MEMS-Stromsensoren, MEMS-Mikrophone, MEMS-Lautsprecher, MEMS-Fotomultiplikatoren, MEMS-Signalspiegel, zum Strahlrichten, mikrofluidische Durchflusszellen, nämlich durchflussbasierte Analysatoren zur wissenschaftlichen oder Laborverwendung; Mikrofluidische Chips, elektrische Steckverbinder im Mikromaßstab, elektromagnetische Spulen im Mikromaßstab, magnetische und elektromagnetische Antriebe im Mikromaßstab, Magnetfeldmessvorrichtungen im Mikromaßstab und strukturelle Teile dafür; Optische Geräte und Optische Bauteile, nämlich, Leuchtdioden [LEDs], Laser, nicht für medizinische Zwecke, Plasma-Lichtquellen, Optische Sensoren, Optische Linsen, und Optische Spiegel; Herunterladbare Computersoftware zum Entwurf und Steuern der Herstellung von MEMS-elektrischen Relais, MEMS-Fotomultiplikatoren, mikrofluidischen Durchflusszellen, mikrofluidischen Chips; Computer und Computerprogramme für Atomlagenabscheidungsapparate
42
Entwurf von Produkten für die Herstellung durch generative Fertigung; Entwurf von additiven Maschinen für die Herstellung und Rapid Prototyping, Atomschichtabscheidungsmaschinen für die vorstehend genannten Waren