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Plasma-Oberflächenbehandlungsmaschinen; Maschinen für die chemische Behandlung von Oberflächen; Beschichtungsmaschinen für das Sputtern; Maschinen für die Vakuumbedampfung; Maschinen für die Reinigung; Graviermaschinen; Spritzgussmaschinen; Maschinen für die Vervielfältigung; Lackiermaschinen; Gaufriermaschinen; UV-Härtemaschine; Maschinen für die Qualitätskontrolle; Maschinen für die Nanoimprintlithographie; Maschinen für die Laserbelichtung, Maschinen für die Fotolackentwicklung; Maschinen für die Laserstrahlaufzeichnung; Maschinen für die thermische Behandlung [Erwärmen und Abkühlen]; Maschinen für die nasschemische Behandlung; Maschinen für den nasschemischen Auftrag; Robotersteuerungsgeräte; Umzugs- und Transportgeräte; Gewerbliche Handhabungsgeräte zur Verwendung bei der Handhabung von Werkstücken; Apparate für den Materialumschlag; Transportmechaniken; Kombinationen industrieller Maschinen und automatischer Umschlagmaschinen für die Durchführung mehrerer Prozesse in Bezug auf die Behandlung von Materialien; Multifunktionale Industriemaschinen für die Materialbearbeitung und automatisierte Handhabung; Inline-Maschinensysteme, nämlich Maschinen und Werkzeugmaschinen für die Beschichtung, Oberflächenbehandlung, thermische Behandlung, Plasmabehandlung, das Spritzen, die Vakuumbedampfung, Lackierung, Reinigung, Ätzung
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Anwendungssoftware; Künstliche Intelligenz-Software und maschinelle Lernsoftware; Künstliche Intelligenz-Software für die Überwachung; Künstliche Intelligenz-Software zur Erstellung von Analysen; Mess-, Erkennungs-, Überwachungs- und Kontrollgeräte
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Behälter aus Kunststoff für die Lagerung, den Transport und die Verarbeitung von Substraten, insbesondere Wafer
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Installation, Reparatur und Wartung in Bezug auf Maschinen, Maschinenteile und Maschinenkombinationen; Installation, Reparatur und Wartung in Bezug auf Mess-, Erkennungs-, Überwachungs- und Kontrollgeräte