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Maschinen und Werkzeugmaschinen für Materialbearbeitung und Produktion; Maschinen zur Herstellung von Halbleitern; Handhabungssysteme für Halbleiterscheiben in Form von Industrierobotern; Substrattransportmaschinen zur Verwendung in der Fertigungsautomation; Schleusenmodule zur Verwendung in der Fertigungsautomation; Substratausrichter zur Verwendung in der Fertigungsautomation; atmosphärische Substrathandhabungsmaschinen zur Verwendung in der Fertigungsautomation; Vakuum-Substrathandhabungsmaschinen zur Verwendung in der Fertigungsautomation; Roboter [Maschinen]; Roboter mit Gelenkarmen zur Handhabung von Werkstücken; Roboter für die Zuführung von Werkstücken; Roboterarme für industrielle Zwecke; Roboter für den Materialumschlag; Robotermechaniken zur Beförderung; automatisierte Montagemaschinen; Industrieroboter, Sortiermaschinen und Transportmaschinen zum Transportieren oder Sortieren von Substraten und Substratfertigungswerkzeugen auf dem Gebiet der Fertigungsautomation; Industrieroboter zur Verwendung für Transportzwecke im Herstellungsprozess von integrierten Schaltkreisen und anderen elektronischen Geräten; Tool-Plattformen zur Verwendung bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen, Halbleiter-, LED- und OLED-Geräten; kraftbetriebene Werkzeuge; Motoren, Antriebe, Maschinenteile und Steuerungen für den Betrieb von Maschinen und Motoren zur Verwendung im Zusammenhang mit der Fertigungsautomation; Maschinenkupplungen und -treibriemen, ausgenommen für Landfahrzeuge, zur Verwendung im Zusammenhang mit der Fertigungsautomation; Flip-Chip-Montagemaschinen; Maschinen für den Einbau von Chipbauteilen; Robotermanipulatoren zur Verwendung auf dem Gebiet der Fertigungsautomation, Roboter-Übergabemechanismen zur Verwendung in Prozesswerkzeugen und integrierten Wafer-Handhabungssystemen, insbesondere automatische Wafer-Handhabungsplattformen; Deckelverschließer und -entferner für Lagerbehälter; Pumpen, Kompressoren und Ventilatoren; Vorrichtungen zur Kraftübertragung, ausgenommen für Landfahrzeuge; Abgabemaschinen; Loadports; Trägerstationen für einen Transportbehälter für Halbleiterscheiben; Teile und Zubehör für alle vorgenannten Waren, soweit in dieser Klasse enthalten
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Aufgezeichnete Daten; Informationstechnologische, audiovisuelle, multimediale und fotografische Geräte; Magnete, Magnetisierungs- und Entmagnetisierungsvorrichtungen; Wissenschaftliche Geräte und Laborgeräte für physikalische Reaktionen mittels Elektrizität; Apparate, Instrumente und Kabel für Elektrizität; Optische Geräte und Ausrüstung, Verstärkungsgeräte und Korrektoren; Sicherungs-, Sicherheits-, Schutz- und Signalgeräte sowie -ausrüstung; Tauchausrüstung; Navigations-, Orientierungs-, Standortverfolgungs-, Zielverfolgungs- und Kartierungsgeräte; Anlagen und Ausrüstungen für die Produktionsautomatisierung; Fabrikautomatisierungssysteme; Loadport-Module zur Verwendung im Bereich der Fertigungsautomatisierung (Computer- und elektronische Hardware); Bestückungsvorrichtung für Bauteile; Halbleiterbauelemente; Halbleiterbauteile; Computersoftware, insbesondere Computersoftware für den Betrieb von Handhabungssystemen für Halbleiterscheiben, Computersoftware für den Betrieb von Maschinen für die Halbleiterherstellung, Computersoftware für den Betrieb von Robotersystemen und Computersoftware für den Betrieb von Prozesssteuerungssystemen; Lagerbehälter für Halbleiterscheiben; Teile und Zubehör für alle vorgenannten Waren, soweit in dieser Klasse enthalten
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Wissenschaftliche und technologische Dienstleistungen sowie Forschungsarbeiten und diesbezügliche Designerdienstleistungen; Industrielle Analyse- und Forschungsdienstleistungen; Forschungen auf dem Gebiet der Technik, insbesondere auf dem Gebiet der mechatronischen Technologien; technische Beratung im Bereich der Mess- und Automatisierungstechnik; Organisation und Veranstaltung wissenschaftlicher Präsentationen; Erstellung wissenschaftlicher Gutachten; Entwurf und Entwicklung von Computerhardware und -software; IT-Dienstleistungen, nämlich Programmierung und Implementierung von Software, Hosting-Dienste, Software as a Service (SaaS) und Vermietung von Software, Vermietung von Computerhardware und -anlagen, IT-Beratungs-, -Auskunfts- und -Informationsdienstleistungen, IT-Sicherheits-, -Schutz- und -Instandsetzungsdienste, Datenvervielfältigungs- und -konvertierungsdienste, Datenkodierungsdienste, Computeranalyse und -diagnostik, Forschung und Entwicklung sowie Implementierung von Computern und Computersystemen; IT-Dienstleistungen, nämlich Computerprojektmanagementdienste, Data mining, Digitale Wasserzeichen, Computerdienste, Technologische Dienste im Bezug auf Computer, Computernetzwerkdienste, Aktualisierung der Speicherbanken von Computersystemen, Datenmigrationsdienste, Aktualisierung von Websites für Dritte, Überwachung von Computersystemen durch Fernzugriff; Prüfung, Authentifizierung und Qualitätskontrolle; Verleih, Vermietung und Verpachtung von Gegenständen in Zusammenhang mit der Erbringung der vorgenannten Dienstleistungen, soweit in dieser Klasse enthalten; Beratung und Information in Bezug auf vorgenannte Dienstleistungen, soweit in dieser Klasse enthalten