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Chemikalien in der Industrie und Wissenschaft; Kohlenstoffwerkstoffe, nämlich Graphit, Kohlenstoff, Kohlenstoffgraphit, Elektrographit, Metallgraphit; kunstharzgebundener Graphit; Graphitsubstrate für industrielle Zwecke; Grafit für gewerbliche Zwecke; Siliziumcarbid-Graphit-Verbundwerkstoffe; Siliciumcarbid; Siliziumdioxid; Aluminiumoxid [Tonerde]; Tantalcarbid; Wolframcarbid; Materialien aus Metallcarbid; Keramik, nämlich technische Keramik; Keramikmaterialien, soweit nicht in anderen Klassen enthalten, für Erzeugnisse der Halbleiter-, LED- und Solarindustrie; Chemische Erzeugnisse zur Herstellung von Halbleiterchips; Chemische Erzeugnisse für die Halbleiterindustrie; Alle vorstehend genannten Waren auch als Verbundwerkstoffe in Kombination mit Metallen, Nicht-Metallen, Salzen und/oder Kunststoffen (soweit in Klasse 1 enthalten); Alle vorstehend genannten Waren auch imprägniert mit Metallen, Nicht-Metallen, Salzen und/oder Kunststoffen (soweit in Klasse 1 enthalten); Alle vorstehend genannten Waren auch mit Keramikbeschichtung
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Teile für Magnetdatenträger, Chips [integrierte Schaltkreise] und Datenverarbeitungsgeräte; Siliziumscheiben und Siliziumwafer für integrierte Schaltkreise; Teile und Bestandteile zur Verwendung bei der Produktion und Verarbeitung von Materialien und Teilen, bestehend aus hochreinen Substanzen, nämlich für die Halbleiter-, Computer- und Solartechnik; Halbleiterwafer-Träger mit einer Beschichtung aus Siliziumkarbid, einschließlich jeweils graphitische Formen oder Kohlenstoff, soweit nicht in anderen Klasen enthalten; Erzeugnisse aus graphit- und/oder kohlenstofffaserverstärktem Kohlenstoff für Anwendungen in der Halbleiter- und/oder Solarindustrie, nämlich Graphitelektroden für Reaktoren für das Aufdampfen von chemischen Dämpfen [CVD], Graphitheizer für die Einkristallzüchtung, Graphitschächte, Graphit-Schmelztiegel, kohlenstofffaserverstärkte Kohlenstoff-Schmelztiegel, Isoliermaterial für industrielle Zwecke; Befestigungselemente aus Kohlenstoff; Träger aus graphit- oder kohlenstofffaserverstärktem Kohlenstoff für die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD); Suszeptoren aus Graphit, kohlenstofffaserverstärktem Kohlenstoff oder Graphitfilz; Erzeugnisse aus Siliziumcarbid für die chemische Gasphasenabscheidung; Waferträger; Mit Siliziumcarbid beschichtete Teile für die Herstellung von Polysilizium und die Einkristallzucht, nämlich Tiegelheizer, Hitzeschilde, Reflektoren, Isolierkomponenten, Boote und Waferträger; Platten als Teile von Tiegeln zur Verwendung in heißen Bereichen als Basis-, Boden- oder Seitenplatten; Anoden in Plattenform zur Verwendung bei der Elektrolyse; Anoden in Stangenform zur Verwendung bei der Elektrolyse; Subsektoren, Träger und Elektroden aus Tantalcarbid, Wolframcarbid oder sonstigem metallischem Carbidmaterial; Platten, Blöcke, Rohre, Längsprofile, Folien aus Graphit, Kohlenstoff, Kohlegraphit, Siliziumcarbid, Siliziumdioxid, Aluminiumoxid, Tantalcarbid, Wolframcarbid, technischer Keramik für Geräte, Vorrichtungen und Teile für die Herstellung und Verarbeitung von Halbleitern, hochreinen Substanzen und zur Verwendung in der Labor-, Analyse-, Solar- und faseroptischen Technik und der Spektrometrie; Alle vorstehend genannten Waren auch als Halbfabrikate; Alle vorstehend genannten Waren auch imprägniert, verstärkt und/oder mit Oberflächenschutzschichten (ganz oder teilweise)
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Reparatur und Instandhaltung von Silizium- und Siliziumcarbiderzeugnissen mit Keramikbeschichtung, Quarzglaserzeugnissen und Graphiterzeugnissen für die Halbleiter-, LED- und Solarindustrie; Reparatur und Instandhaltung von Wärmebehandlungsöfen; Isolierungsarbeiten