9
Wissenschaftliche, Schifffahrts-, optische, elektrooptische, Wäge-, Mess-, Signal-, Kontroll- und Steuerungsapparate und -instrumente; Geräte und Instrumente zur Aufzeichnung, Verarbeitung, Übertragung und Wiedergabe von Daten, Ton und Bild; Licht- und Wellenmessapparate; Software; Laserlichtquellen zur Verwendung bei der Halbleiterherstellung; Laser und deren Bauteile, einschließlich Wellenmesser und andere Lichtmessinstrumente; Excimerlaser für gewerbliche Zwecke; Optische Baugruppen für die Steuerung von Lasern zur Erhöhung der Leistung von Lichtquellen der Fotolithografie; Computerhardware und -software für Data-Mining, Datenüberwachung, Datenanalysen und die Steuerung der Leistungsparameter von Lichtquellen für die Herstellung von Halbleitern; Software zur Verbesserung der operativen Leistung von laserbasierten Fotolithografie-Quellen
37
Wartung, Reparatur und Instandhaltung von Lichtquellen für Industrieanwendungen; Beratung in Bezug auf die vorstehend genannten Dienstleistungen
42
Ingenieurtechnische Dienstleistungen, insbesondere im Bereich Mess-, Steuer- und Regelungstechnik; Dienstleistungen eines Physikers; Design, Pflege, Programmierung und Entwicklung von Software; Informationen auf dem Gebiet industrieller Anwendungen für Excimerlaser, insbesondere Halbleiterherstellung; Computerdienstleistungen und fachliche Beratung, einschließlich Überwachung, Prüfung und Diagnose von Lichtquellen bei Industrieanwendungen; Werbung und Beratung in Bezug auf die vorstehend genannten Dienstleistungen