7
Maschinen und Teile zur Herstellung von Halbleitern, Solarzellen, Leuchtdioden, Flüssigkristall- und organischen Elektrolumineszenzanzeigen; Strömungsregler (mechanisch) zur Verwendung mit Maschinen zur Herstellung von Halbleitern, Solarzellen, Leuchtdioden, Flüssigkristall- und organischen Elektrolumineszenzanzeigen; Strömungsregler (mechanisch) mit Eigendiagnosefunktion von Maschinen zur Herstellung von Halbleitern, Solarzellen, Leuchtdioden, Flüssigkristall- und organischen Elektrolumineszenzanzeigen; Flüssigkeitsmessapparate als Teile von Maschinen zur Herstellung von Halbleitern, Solarzellen, Leuchtdioden, Flüssigkristall- und organischen Elektrolumineszenzanzeigen; Strömungsmesser als Teile von Maschinen zur Herstellung von Halbleitern, Solarzellen, Leuchtdioden, Flüssigkristall- und organischen Elektrolumineszenzanzeigen; Strömungssensoren als Teile von Maschinen zur Herstellung von Halbleitern, Solarzellen, Leuchtdioden, Flüssigkristall- und organischen Elektrolumineszenzanzeigen; Druckregler (Regler oder Ventile) als Teile von Maschinen zur Herstellung von Halbleitern, Solarzellen, Leuchtdioden, Flüssigkristall- und organischen Elektrolumineszenzanzeigen; Druckmessapparate als Teile von Maschinen zur Herstellung von Halbleitern, Solarzellen, Leuchtdioden, Flüssigkristall- und organischen Elektrolumineszenzanzeigen; Drucksensoren als Teile von Maschinen zur Herstellung von Halbleitern, Solarzellen, Leuchtdioden, Flüssigkristall- und organischen Elektrolumineszenzanzeigen
9
Mess- und Prüfmaschinen und -instrumente; Strömungsregler; Strömungsregler mit Eigendiagnosefunktion; Durchflusssensoren; Strömungssensoren; Druckregler; Manometer; Druckaufnehmer; Laborgeräte und -instrumente
37
Reparatur oder Wartung von Mess- und Prüfmaschinen und -instrumenten; Reparatur oder Wartung von Maschinen und Teile zur Herstellung von Halbleitern, Solarzellen, Leuchtdioden, Flüssigkristall- und organischen Elektrolumineszenzanzeigen