7
Maschinen, Geräte und Anlagen für die Materialbearbeitung mit Hilfe der Mikrotechnik und der Nanotechnik, insbesondere der Laser-Mikrotechnik bzw -Nanotechnik, die vorgenannten Waren vorzugsweise zum Bohren, Schneiden, Abtragen, Strukturieren, Gravieren, Markieren, Bedrucken und Sintern der Materialien, insbesondere in der MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems)-Industrie, der Halbleiterindustrie, der Medizintechnik und der Solartechnik; Teile aller vorgenannten Waren, soweit in Klasse 7 enthalten
9
Laser, nicht für medizinische Zwecke, Laser-Kalorimeter; optische Apparate und Instrumente, optische Faserkabel, optische Lichtleiterkabel, optische Linsen, optische Filter, optische Spiegel; elektronische Geräte zur Steuerung und Regelung von Maschinen, Geräten und Anlagen für die Materialbearbeitung mit Hilfe der Mikrotechnik und der Nanotechnik, insbesondere der Laser-Mikrotechnik bzw -Nanotechnik; Teile der vorgenannten Geräte, soweit in Klasse 9 enthalten; Software, auch gespeichert, insbesondere zur Steuerung und Regelung von Maschinen, Geräten und Anlagen für die Materialbearbeitung mit Hilfe der Mikrotechnik und der Nanotechnik, insbesondere der Laser-Mikrotechnik bzw -Nanotechnik
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Materialbearbeitung mit Hilfe der Mikrotechnik und der Nanotechnik, insbesondere der Laser-Mikrotechnik bzw -Nanotechnik
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Wissenschaftliche und technologische Dienstleistungen und Forschungsarbeiten und diesbezügliche Designerdienstleistungen, industrielle Analyse- und Forschungsdienstleistungen, technische Projektplanungen, die vorgenannten Dienstleistungen vorzugsweise auf dem Gebiet der Mikrotechnik und der Nanotechnik, insbesondere der Laser-Mikrotechnik bzw -Nanotechnik; Entwurf und Entwicklung von Computerhardware und -software