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Mechanische Apparate und dazugehörige Bauteile sowie daraus bestehende Ausrüstung für die Herstellung und Aufbereitung von Substraten, nämlich Halbleitersubstraten, Siliziumscheiben, Wafern und Fotomasken; Vollautomatische Ausrüstung und dazugehörige Bauteile zum Reinigen, Beschichten, Bestrahlen mit UV-Licht, Entwickeln, Ätzen und Abschneiden von Substraten, nämlich Halbleitersubstraten, Siliziumscheiben, Wafern, Druckschablonen und Fotomasken; Halbautomatische Ausrüstung (manuelles Einfügen und Entfernen) und Bauteile zum Reinigen, Beschichten, Bestrahlen mit UV-Licht, Entwickeln, Ätzen und Abschneiden, nämlich von Halbleitersubstraten, Siliziumscheiben, Wafern, Druckschablonen und Fotomasken
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Installationsarbeiten, Reinigungsdienstleistungen, Reparaturwesen und Wartung von Maschinenanlagen und Bauteile hierfür und für automatische und halbautomatische Ausrüstung, alle Apparate und Ausrüstungen auf dem Gebiet der Aufbereitung von Halbleitersubstraten, Siliziumscheiben, Wafern, Druckschablonen und Fotomasken
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Ausbildung, Unterweisung und Schulung auf dem Gebiet des Betriebs von mechanischen Apparaten und dazugehörigen Bauteilen und von automatischer und halbautomatischer Ausrüstung, alle Apparate und Ausrüstungen auf dem Gebiet der Aufbereitung von Halbleitersubstraten, Siliziumscheiben, Wafern, Druckschablonen und Fotomasken