9
Wissenschaftliche und optische Apparate und Instrumente, soweit in Klasse 9 enthalten; Optiken und Optikkomponenten; Bauelemente mit optischer Funktionsschicht; Optiken, optische Bauelemente, optische Komponenten und Bauelemente mit optischer Funktionsschicht oder Funktionsbeschichtung für weiche Röntgenstrahlung, harte Röntgenstrahlung und extrem ultraviolette Strahlung, insbesondere für eine Wellenlänge von 13,5 nm; optische Spiegel, Linsen und Filter; Multilayer-Spiegel; Grazing-Incidence-Spiegel, insbesondere für extrem ultraviolette Strahlung, insbesondere für eine Wellenlänge von 13,5 nm; Spiegel für weiche Röntgenstrahlung; Spiegel für harte Röntgenstrahlung; EUV-(extrem ultraviolette Strahlung)-Schwarzschild-Objektive; EUV-(extrem ultraviolette Strahlung)-Kollektoren; EUV-(extrem ultraviolette Strahlung)-Beleuchtungsoptiken; EUV-(extrem ultraviolette Strahlung)-Transmissionsfilter
40
Dienstleistungen zum Aufbringen von Beschichtungen auf optische Bauelemente; Aufbringen von Metallbeschichtungen und Metallisierungen; Aufbringen von Multilayer- und Grazing-Incidence-Beschichtungen für weiche Röntgenstrahlung, für harte Röntgenstrahlung und für extrem ultraviolette Strahlung, insbesondere für eine Wellenlänge von 13,5 nm; Aufbringen von Beschichtungen für EUV-(extrem ultraviolette Strahlung)-Schwarzschild-Objektive; Aufbringung von Beschichtungen für EUV-(extrem ultraviolette Strahlung)-Kollektoren, für EUV-(extrem ultraviolette Strahlung)-Beleuchtungsoptiken und für EUV-(extrem ultraviolette Strahlung)-Transmissionsfilter
42
Dienstleistungen für wissenschaftliche und industrielle Forschung, soweit in Klasse 42 enthalten; wissenschaftliche und technologische Dienstleistungen und Forschungsarbeiten und diesbezügliche Designerdienstleistungen sowie industrielle Analyse- und Forschungsdienstleistungen und wissenschaftliche Beratungen im Zusammenhang mit Optiken und Optikkomponenten sowie dem Aufbringen optischer Beschichtungen auf optische Bauelemente, Berechnung von optischen Schichten und Schichtsystemen für kundenspezifische Anwendungen; technologische Dienstleistungen auf dem Gebiet der Fertigung von Optiken und Optikkomponenten