1
Pulverförmige, gekörnte, pillen- oder tablettenförmige Verbrauchsmaterialien zum Beschichten von Brillenlinsen und anderen optischen Komponenten, nämlich Metalle, Metalloxide, Metallnitride, Metallflouride, Metallkarbide sowie Mischungen hiervon; Aufdampfmaterialien zur Herstellung wasser- und schmutzabweisender Schichten aus perfluorierten Kohlenwasserstoffen, sowie antistatischen Schichten aus transparenten, leitfähigen Metalloxiden
4
Öle, Fette und Schmierstoffe für Hochvakuumpumpen und andere Vakuumanwendungen
6
Metallische Verbrauchsutensilien zum Einsatz in Elektronenstrahl- und Ionenkanonen, insbesondere Tiegel und Schiffchen aus Molybdän und anderen hochschmelzenden Metallen sowie Filamente aus Wolframdraht; Sputtertargets, bestehend aus Metallen und Metalloxiden
7
Hochvakuum-Beschichtungsanlagen im Wesentlichen bestehend aus Maschinen, Apparaten und Geräten für die Beschichtung von Brillengläsern, optischen Linsen und Bauteilen sowie sonstigen Gegenständen einschließlich Hochvakuum-Beschichtungsanlagen für die thermische Beschichtung mittels Elektronenstrahl-Verdampfungsquellen und thermischen Verdampfungsquellen, mit oder ohne Ionen- oder Plasmaunterstützung, vorgenannte Apparate und Geräte, soweit in Klasse 7 enthalten; Sputteranlagen jeder Art im Wesentlichen bestehend aus Maschinen, Apparaten und Geräten zum Sputter-Beschichten von Gegenständen, Magnetrone jeder Art, vorgenannte Apparate und Geräte, soweit in Klasse 7 enthalten; CVD- und PICVD-Beschichtungsanlagen jeder Art im Wesentlichen bestehend aus Maschinen, Apparaten und Geräten für die CVD-Beschichtung (Chemical Vapour Deposition) und PICVD-Beschichtung (Plasma Impuls Chemical Vapour Deposition) von Gegenständen, mit oder ohne Ionen-Unterstützung, vorgenannte Apparate und Geräte, soweit in Klasse 7 enthalten; Plasma- und Ionen- (Kaufmann-)Quellen für den Ionen-unterstützten Betrieb der vorgenannten Beschichtungsanlagen; Anlagen im Wesentlichen bestehend aus Maschinen, Apparaten und Geräten für das Aufbringen hydrophober Schichten, mit oder ohne Vakuum, vorgenannte Apparate und Geräte, soweit in Klasse 7 enthalten; Ersatzteile für Beschichtungsanlagen, insbesondere Graphit- und Edelstahlanoden, Gasverteiler, Isolatoren und Wärmeleitplatten
9
Monitorquarze aus Quarz mit einer metallischen Elektrode, zur Schichtdickenmessung in Beschichtungsanlagen