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Maschinen, Anlagen und Werkzeugmaschinen, insbesondere automatisierte Maschinen, Anlagen und Fertigungslinien; Maschinenteile, Ersatzteile und Zubehörteile für Maschinen, Anlagen und Werkzeugmaschinen; Transportanlagen; Handhabungsmaschinen und Handhabungsgeräte, insbesondere Roboter, Manipulatoren und Greifer; Förderanlagen; Maschinen und Anlagen zur Herstellung, Beschichtung und/oder Bearbeitung von Werkstoffen, insbesondere zur Herstellung und/oder Bearbeitung von flachen Substraten in der Leiterplattenindustrie und Photovoltaikindustrie sowie Beschichtungsdüsen und -rollen; Pressen, insbesondere Laminierpressen zur Herstellung von Solarmodulen, Leiterplatten und Chipkarten; Maschinen und Anlagen zur Herstellung chemischer Erzeugnisse, insbesondere zur Herstellung von Silizium und Silanen; Maschinen und Anlagen zur Beschichtung und/oder Oberflächenbehandlung von Werkstoffen, insbesondere von Halbleitermaterialien, Glas, Kunststoffen oder Polymeren; Maschinen und Anlagen für Ätz- und Reinigungsbehandlungen; Maschinen und Anlagen zur Galvanisierung; Vakuumanlagen
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Wissenschaftliche, fotografische, Film-, optische, Wäge, Mess-, Signal- und Kontrollapparate und –instrumente; Messmaschinen; Apparate und Instrumente zum Leiten, Schalten, Umwandeln, Speichern, Regeln und Kontrollieren von Elektrizität; elektrische Apparate und elektrisches Zubehör für die Leiterplatten- und Photovoltaikindustrie, für die Galvanotechnik, die Siliziumherstellung, die Silanherstellung und zur Herstellung von Leiterplatten, Solarzellen und/oder Solarmodulen; Datenverarbeitungsgeräte und Computer; Drucker und Druckgeräte, insbesondere Tintenstrahldrucker und Laserdrucker sowie deren Teile; Software, insbesondere Betriebssoftware, insbesondere für Film-, Wäge-, Mess-, Signal- und Kontrollapparate und –instrumente, für Maschinen und Anlagen für die Leiterplatten- und Photovoltaikindustrie, zur Siliziumherstellung, zur Silanherstellung und für Galvanisieranlagen
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Heizungs- und Trockengeräte; Öfen und Diffusionsöfen, insbesondere Öfen für industrielle Zwecke