4
Öle, nämlich Mineralöle, Silikonöle, Syntheseöle und Perfluorether-Öle; Schmiermittel; Vakuumversiegelungsmittel aus Silikon (Fette); technische Fette
6
Flanschen aus Metall; Flanscharmaturen; Metallklemmen, ausgenommen Werkzeuge; gewerbliche Metallbehälter für den Transport von Ausrüstungen für die Halbleiterverarbeitung
7
Vakuumgeräte und Vakuummaschinen, alle soweit sie in Klasse 7 enthalten sind; Vakuumpumpen; Pumpen mit Öldichtung; Drehkolbenpumpen; Rotationspumpen mit Öldichtung; Kolbenpumpen mit Öldichtung; Druckerhöhungspumpen; Spiralgehäusepumpen; Trockenpumpen; Trockenvakuumpumpen; Vakuumpumpen mit Flüssigkeitsring; industrielle Trockenpumpen; Membranpumpen; Strahlpumpen; Turbomolekularpumpen; Verbundmolekularpumpen; Seitenkanalpumpe; Dampfpumpen; Diffusionspumpen; Chemikalienpumpen; Chemikalientrockenpumpen; Vakuumpumpen zur Trocknung von Chemikalien; Chemikalienpumpsysteme; Vakuumplattentrockner; Dampfausstoß-Vakuummaschinen und -ausrüstung; Apparate und Ausrüstungen zur Abgasbehandlung; Pumpenregler; Ventile (Maschinenteile); Ventilsteuerungen (Maschinenteile); chemische Mischmaschinen und Abgabesysteme und chemische Mischmaschinen und Abgabesysteme zum Einsatz an der Verwendungsstelle (Maschinen); Maschinen und Systeme zum Mischen und Abgeben von chemisch-mechanischen Polierschlämmen (Maschinen); Vorrichtungen zur Beschichtung von Substraten; integrierte Geräte zum Pumpen von Gasen; wassergekühlte Abscheider; beheizte Abscheider; Filterabscheider; Teile und Zusatzteile für alle vorstehend genannten Waren
9
Wissenschaftliche Apparate, Spektrografen, Massenspektrometer, Instrumente und Apparate zum Prüfen, Kontrollieren, Nachweisen, Überwachen und Analysieren von Werkstoffen in wissenschaftlichen und industriellen Arbeitsabläufen, Druckmessgeräte; Druckregler; Apparate und Instrumente, alle zur Feststellung von Flüssigkeitslecks; Ionisationsmessgeräte, Vakuummessgeräte, Konvektionsvakuummeter; Pirani-Vakuummeter; Penning-Vakuummeter; Ionenvakuummeter; Magnetronvakuummeter; Vakuummeter für invertierte Magnetronentladung; Weitbereichsvakuummeter; Thermoelement-Vakuummeter; Dehnungsmesser; Wandler; Steuerungen für Vakuummeter; Messdosen; Gassensoren; Feuchtigkeitssensoren; Kalibriergeräte, -instrumente und -ausrüstungen; Ionenbeschleuniger, ausgenommen solche zur Aufbereitung von Luft; Apparate zum Aufdampfen von Dünnfilm; Apparate, Instrumente und Ausrüstung zum Vakuumaufdampfen; Aufdampfungsapparate, -instrumente und -ausrüstung; Apparate, Instrumente und Ausrüstung zur Elektronenstrahlaufdampfung; Ausrüstung für Elektronenstrahlöfen, Ausrüstung zur Elektronenstrahlverdampfung, Ausrüstung zum Elektronenstrahlglühen, Ausrüstung zur Elektronenstrahlbehandlung von Oberflächen, Sputterapparate, -instrumente und -ausrüstung; elektrische Ventile; elektronische Ventile; Stromversorgungsgeräte; Teile und Zusatzteile für alle vorstehend genannten Waren; Computersoftware zur Überwachung des Systemstatus und zur Bereitstellung von Daten in Bezug auf Vakuum, Abgasentsorgung, Chemikalienverbrauch und Gasverbrauch, im Bereich Herstellung von Halbleitern und integrierten Schaltkreisen; Computersoftware zum Entwurf und zur Konfiguration von Systemen zur Behandlung von Gasen, Chemikalien, Vakuum und Abgasen; computergestützte Partikelgröße-Analysegeräte zur Verwendung in chemisch-mechanischen Poliersystemen; Apparate zur Steuerung der Temperatur von Rohrleitungen, nämlich ein Temperatursteuergerät, das mit einem Heiz- oder Kühlgerät um die Rohrleitungen und einer Isoliervorrichtung um die Rohrleitungen sowie einem Heiz-/Kühlgerät verbunden ist, um den Wärmeverlust zu minimieren
11
Anlagen und Apparate zum Tiefkühlen, Kühlen und Abkühlen; Anlagen und Apparate zum Aufbereiten, Reinigen und Entsorgen von festen, flüssigen und gasförmigen Stoffen; Wasserreinigungseinheiten; Wasseraufbereitungseinheiten; Anlagen und Apparate zum Entzünden, Erhitzen, Verbrennen und Waschen von Gas; Anlagen und Apparate zum Reinigen von Abgasen aus der Halbleiterindustrie; Apparate zur Entsorgung von Gasen; integrierte Entsorgungsgeräte; Gasreinigunsgeräte; Nasswäscher; Gasreaktoren; Apparate zur Rückgewinnung von Gasen; Gasabscheidungsgeräte; Entlüftungsgeräte, nämlich Geräte zum Entfernen von Gasen aus einer Flüssigkeit; und Teile und Zusatzteile für alle zuvor genannten Waren
37
Reparatur und Wartung von Halbleiterverarbeitungsgeräten, Abgasbehandlungssystemen, chemischen Verteilungssystemen, Wasseraufbereitungsanlagen, Wärmetauschern, Kühlvorrichtungen, Vakuumgeräten und Vakuumpumpen sowie von Teilen und Bestandteilen dafür; Überholung von Ausrüstung für die Halbleiterverarbeitung
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Beratung und Veranstaltung von Seminaren auf dem Gebiet der Vakuum- und Abgasbehandlungstechnik; Ausbildung in Bezug auf Entwurf, Installation, Modifikation, Kalbrierung, Betrieb, Einbau und Wartung von Apparaten zur Bereitstellung von Gasen und Gasmischungen, Chemikalien, Vakuum- und/oder Abgasbehandlung bei der Herstellung von Halbleitern und ähnlichen Geräten
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Technische Beratung und Entwurfsdienste in Bezug auf Entwurf, Installation, Modifikation, Kalibrierung, Betrieb, Einbau und Wartung von Apparaten zur Bereitstellung von Gasen und Gasmischungen, Chemikalien, Vakuum- und/oder Abgasbehandlung bei der Herstellung von Halbleitern und ähnlichen Geräten