6
Handbetätigte Vakuumventile aus Metall; Teile und Zusatzteile für alle vorstehend genannten Waren
7
Verdichter für Kältemaschinen; Kältepumpensysteme und deren Teile, einschließlich Verdichter, Kältemaschinen, Kälteschalttafeln, Überwachungs- und Steuerelemente; Verdichter und Pumpen; Kältemaschinen und -anlagen; Teile und Zusatzteile für alle vorstehend genannten Waren
9
Vakuummeter, Vakuummeterrohre, Regler für Vakuummeter, Ionisationsmanometerrohre, Regler für Ionisationsmanometer und automatische Vakuumventile für die Druck-/Durchflussregelung; elektrische Überwachungs- und Steuerelemente für Kryopumpen; Überwachungs- und Steuerelemente für Tieftemperatur-Kühlsysteme; Computerhardware und -software; Kommunikationsgeräte zur Verwendung in Verbindung mit der Überwachung, Kommunikation und Analyse von Daten aus elektronischen Systemen, die an der Steuerung und Überwachung von Fertigungsabläufen beteiligt sind; Steuerungs- und Überwachungsgeräte und -instrumente; Teile und Zusatzteile für alle vorstehend genannten Waren
11
Tieftemperatur-Kühlsysteme und deren Teile, einschließlich Verdichter, Kondensatoren, Überwachungs- und Steuerelemente; Kälte-, Trocken- und Kühlgeräte und -instrumente; tragbare mechanische Abkühlanlagen zur Versorgung mit Flüssigkühlmittlen; Teile und Zusatzteile für alle vorstehend genannten Waren
37
Wartungs- und Reparaturdienste; Wartung und Reparatur von Hochvakuumpumpen sowie Beratung in Verbindung damit; Reparatur und Wartung von Halbleiter-Fab-Fertigungsanlagen
41
Schulung von Dritten in Verbindung mit der Wartung und Reparatur von Hochvakuumpumpen; Schulung in Bezug auf die Benutzung oder den Betrieb von Fertigungsanlagen oder Fab-Fertigungsanlagen
42
Dienstleistungen im Bereich des technischen Supports; technische Unterstützung bei der Fehlersuche und -behebung in Bezug auf Probleme mit Fab-Fertigungsanlagen; Beratung auf dem Gebiet der Fab-Fertigungsanlagen; Betriebsdatenanalysen; Computerdiagnose für Fertigungsprozesse, die die Interpretation und Analyse von computergespeicherten oder computerübertragenen Daten aus elektronischen Systemen umfasst, die an der Steuerung und Überwachung solcher Prozesse beteiligt sind; und die Abgabe von Empfehlungen zur Optimierung der Prozesse auf der Grundlage der aus den Systemen zusammengetragenen Daten sowie die Umsetzung solcher Empfehlungen
45
Elektronische Überwachung und elektronische Überwachung im Bereich der Fab-Fertigungsanlagen