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Maschinen, Apparate und Instrumente zur Herstellung von Halbleitern; Maschinen, Apparate und Instrumente zur Herstellung von Dünnfilmtransistoren; Maschinen, Apparate und Instrumente zur Herstellung von Flüssigkristallanzeigen; Ausrüstungen und Maschinen zum Verarbeiten, Polieren, Reinigen und Herstellen von Halbleitersubstraten, Dünnfilmen, Siliziumplatten und -scheiben; Flüssigkeitspumpen; Teile und Zubehör für alle vorgenannten Waren
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Halbleiter sowie Halbleiter enthaltende Apparate und Instrumente; Apparate und Instrumente zum Herstellen, Verarbeiten, Polieren und Reinigen von Halbleitern; Geräte, Apparate, Instrumente und Systeme zum Verarbeiten, Polieren, Reinigen und Herstellen von Halbleitersubstraten, Dünnfilmen, Siliziumplatten und -scheiben; Komponentenpumpen zur Verwendung bei der Halbleiterverarbeitung; Apparate und Instrumente zur Überprüfung, Messung, Kontrolle, Überwachung, Regulierung und Steuerung von Ausrüstungen für die Halbleiterverarbeitung und zugehörigen Flüssigkeiten; Teile, Bestandteile und Zubehör für alle vorstehend genannten Waren; sowie Computerprogramme zur Verwendung mit allen vorstehend genannten Waren
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Installation, Wartung und Reparatur von Maschinen, Apparaten und Instrumenten für die Herstellung von elektronischen Apparaten und Instrumenten; von Maschinen, Apparaten und Instrumenten zur Herstellung von Halbleitern, Dünnfilmtransistoren und Flüssigkristallanzeigen; von wissenschaftlichen, elektrischen und elektronischen Apparaten und Instrumenten; von Apparaten und Instrumenten zur Herstellung von Halbleitern; von Ausrüstungen, Apparaten, Instrumenten zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben; von Ausrüstungen für die Dünnfilmverarbeitung und Flüssigkristallanzeigen; von Geräten und Maschinen zum Verarbeiten, Polieren, Reinigen und Herstellen von Halbleitersubstraten, Dünnfilmen, Siliziumplatten und -scheiben sowie Bestandteile im Zusammenhang damit; von Flüssigkeitspumpen; von Regelungs-, Überwachungs- und Steuerungsapparaten; von Teilen, Bestandteilen und Zubehör für alle vorstehend genannten Ausrüstungen, Apparate und Instrumente