7
Maschinen, Apparate und Instrumente zur Herstellung von Halbleitern; Maschinen, Apparate und Instrumente zur Herstellung von Dünnschichttransistoren; Maschinen, Apparate und Instrumente zur Herstellung von Flüssigkristallanzeigen; Ausrüstungen zur Dünnschichtverarbeitung, Waferbearbeitungsausrüstungen, Ausrüstungen zur Verarbeitung durch Ätzverfahren, Ausrüstungen zur Verarbeitung durch Beschichtungsverfahren, alle zur Herstellung und Verarbeitung von Computerhardware, Computersoftware und Computerbauteilen, einschließlich Halbleiter, integrierte Schaltkreise und Flachbildschirme; chemisch-mechanische Polierer; Teile, Bestandteile, Zubehör und Bauteile für alle vorstehend genannten Waren
9
Halbleiter sowie Halbleiter enthaltende Apparate und Instrumente; Apparate und Instrumente zur Herstellung von Halbleitern; Ausrüstungen, Apparate, Instrumente und Komponenten zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben; Epitaxialreaktoren, chemische Aufdampfungsreaktoren, physikalische Aufdampfungsreaktoren, Plasmaätzer, Ionenimplantationsanlagen, Trägerrahmen und Bauteile dafür; chemisch-mechanische Polierer; Teile, Zusatzteile und Zubehör für alle vorstehend genannten Waren; sowie Computerprogramme zur Verwendung mit allen vorstehend genannten Waren
37
Installation, Wartung und Reparatur von Maschinen, Apparaten und Instrumenten für die Herstellung von elektronischen Apparaten und Instrumenten; von Maschinen, Apparaten und Instrumenten zur Herstellung von Halbleitern, Dünnschichttransistoren und Flüssigkristallanzeigen; von wissenschaftlichen, elektrischen und elektronischen Apparaten und Instrumenten; von Apparaten und Instrumenten zur Herstellung von Halbleitern; von Ausrüstungen, Apparaten, Instrumenten zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben; von Epitaxialreaktoren, chemischen Aufdampfungsreaktoren, physikalischen Aufdampfungsreaktoren, Plasmaätzern, Ionenimplantationsanlagen, Trägerrahmen und Bauteilen dafür; von chemisch-mechanischen Polierern; von Dünnschichttransistoren, Ausrüstungen zur Dünnschichtverarbeitung und Flüssigkristallanzeigen; von Teilen, Bestandteilen und Zubehör für alle vorstehend genannten Ausrüstungen, Apparate und Instrumente