7
Vorrichtungen und Geräte zum Handhaben und Transportieren von Halbleiterscheiben, magnetischen Medien und Flachbildschirmen; Fördergeräte; Transportarme; Robotergeräte für Handhabung und Transport; Roboter; Gehäuse, Hüllen, Kammern und Behälter, alle zur Verwendung bei der Herstellung, beim Transport und der Lagerung von Halbleiterscheiben, magnetischen Medien und Flachbildschirmen
9
Computer, Personalcomputer; Computerprogramme und -software; elektrische, elektronische, Wäge-, Mess-, Signal- und Kontrollapparate und -instrumente; Magnetaufzeichnungsträger; Datenverarbeitungsgeräte und -ausrüstungen; programmierbare Speichervorrichtungen, elektronische und magnetische Marken, Lese- und Abfragegeräte dafür; Steuerungssysteme für die Verwaltung von laufenden Arbeitsprozessen; Systeme zur Feuchtigkeits-, Temperatur und Kontaminationsregelung in geschlossenen Räumen; Apparate für die Verfolgung und Leitweglenkung von Waren während und nach der Herstellung und Lagerung; Apparate für die Verfolgung, Steuerung und Leitweglenkung der Verarbeitung und Herstellung von Waren; Gehäuse, Hüllen, Kammern und Behälter, alle speziell zur Verwendung bei der Herstellung, beim Transport und der Lagerung von Halbleiterscheiben, magnetischen Medien und Flachbildschirmen; ausgenommen jedoch Artikel zur Verwendung in oder mit Kraftfahrzeugen
11
Apparate für Klima- und Lüftungsanlagen; Luftreinigungsapparate und -anlagen; Luftfiltersysteme; Filter; Gasversorgungssysteme zum Herstellen einer Inertgasumgebung in einem geschlossenen Raum; Apparate zum Reinigen und Entfernen von Verunreinigungen der Luft oder anderer Gase in einem geschlossenen Raum zur Verwendung bei der Herstellung, beim Transport und der Lagerung von Halbleiterscheiben, magnetischen Medien und Flachbildschirmen; Apparate zum Herstellen und Erhalten einer Inertgasumgebung in einem geschlossenen Raum zur Verwendung bei der Herstellung, beim Transport und der Lagerung von Halbleiterscheiben, magnetischen Medien und Flachbildschirmen
16
Handbücher, Broschüren; Druckereierzeugnisse; Lehr- und Unterrichtsmaterial