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Flüssige und gasförmige Chemikalien für Industrie und Wissenschaft; Chemische Verbindungen für Industrie und Wissenschaft; Chemische Vorprodukte, hochreine Gase und Präparate; Flüssige und gasförmige Chemikalien; Hochreine Gase; Chemische Präparate und chemische Mischungen für chemisch-mechanisches Polieren; Chemische Verbindungen und hochreine Gase; alle vorstehend genannten Erzeugnisse zur Verwendung in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie und zur Verwendung als Reinigungsmittel für die chemisch-mechanische Planarisierung, als Dotierungsmittel, Materialien zur Verwendung in Halbleiterlasern, Ätz-, Metallisierungs-, Fotolackentfernungs-, Oberflächenvorbereitungs-, Waferreinigungs-, Dünnschichtabscheidungs- und Kammerreinigungsmittel, als Mittel für die Reinigung nach der chemisch-mechanischen Planarisierung und die Entfernung von Rückständen
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Ampullen, Behälter und Gefäße aus Metall für die Lagerung und Zuführung von flüssigen und gasförmigen Chemikalien, chemischen Verbindungen, chemischen Vorprodukten, chemischen Produkten und hochreinen und ultrahochreinen Gasen zu einem Prozessinstrument oder einem Zuführungs-/Leitersystem für ein Prozessinstrument zur Verwendung in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie; Behälter aus Metall für die Lagerung und Zuführung von flüssigen und gasförmigen Chemikalien, chemischen Verbindungen, chemischen Vorprodukten, chemischen Produkten, hochreinen und ultrahochreinen Gasen, chemisch-mechanischen Planarisierungs-Slurrys, chemischen Lösungen für die Entfernung von Rückständen und Materialien in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie und Ampullen, Behälter und Gefäße aus Metall für die Lagerung und Zuführung von flüssigen und gasförmigen Chemikalien, chemischen Verbindungen, chemischen Vorprodukten, chemischen Produkten und hochreinen und ultrahochreinen Gasen, die mit Systemen und Sensoren ausgestattet sind, die die Materialmenge oder das Materialniveau in der Ampulle, im Behälter oder Gefäß erkennen
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Maschinen aus Metall, nämlich Maschinen mit Stromversorgung, Temperaturreglern, Anschlüssen, Verteilern, Ventilen, Schläuchen und Wiegevorrichtungen für die Überwachung und Zuführung von Gasen und Chemikalien zu einem Prozesswerkzeug oder einer Produktionsanlage zur Verwendung in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie; Maschinen für die Zuführung von Chemikalien, chemischen Verbindungen, Gasen und Materialien zu einem Prozesswerkzeug; Maschinen für die chemische Gasphasenabscheidung; Maschinen für die Atomlagenabscheidung; Maschinen für das reaktive lonenätzen und Maschinen für die chemisch-mechanische Planarisierung zur Verwendung in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie
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Computerprogramme und Software für die Steuerung von Chemikalienzuführungssystemen in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie; elektrische Prozesssteuerungsgeräte zur Verwendung in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie für die Herstellung elektronischer Bauelemente, nämlich Logikschaltungen, Speichermodule, Sensoren, diskrete Bauelemente, asynchrone und analoge Halbleiterbauelemente; Software für die elektrische Prozesssteuerung zur Verwendung in der Elektronik-, Halbleiter-und mikroelektromechanischen Fertigung; Geräte für die elektrische Prozesssteuerung sowie Prozesssteuerungssoftware für die Eindämmung, Lagerung, Überwachung, Zuführung und das Management von Gasen in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie; Geräte für die elektrische Prozesssteuerung, Computersoftware für die Überwachung, Lagerung, Zuführung und das Management von Gasen und Chemikalien in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie; elektronische Steuergeräte und Software für die Überwachung, Handhabung, Zuführung und Abgabe von Chemikalien, chemischen Verbindungen, chemisch-mechanischen Planarisierungs-Slurrys, chemischen Lösungen für die Entfernung von Rückständen, Gasen und Materialien in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie; Temperatursteuerungssysteme zur Regelung der Temperatur von Chemikalien und Gasen; automatisierte Systeme zur Steuerung der Abgabe von Chemikalien und Gasen
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Ampullen, Behälter und Gefäße aus Kunststoff für die Lagerung und Zuführung von flüssigen und gasförmigen Chemikalien, chemischen Verbindungen, chemischen Vorprodukten, chemischen Produkten und hochreinen und ultrahochreinen Gasen zu einem Prozessinstrument oder einem Zuführungs-/Liefersystem für ein Prozessinstrument zur Verwendung in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie; Behälter aus Kunststoff für die Lagerung und Zuführung von flüssigen und gasförmigen Chemikalien, chemischen Verbindungen, chemischen Vorprodukten, chemischen Produkten, hochreinen und ultrahochreinen Gasen, chemisch-mechanischer Planarisierungs-Slurrys, chemischen Lösungen für die Entfernung von Rückständen und Materialien in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie; Ampullen, Behälter und Gefäße aus Kunststoff für die Lagerung und Zuführung von flüssigen und gasförmigen Chemikalien, chemischen Verbindungen, chemischen Vorprodukten, chemischen Produkten und hochreinen und ultrahochreinen Gasen, die mit Systemen und Sensoren ausgestattet sind, die die Materialmenge oder das Materialniveau in der Ampulle, im Behälter oder Gefäß erkennen
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Ampullen, Behälter und Gefäße aus Glas für die Lagerung und Zuführung von flüssigen und gasförmigen Chemikalien, chemischen Verbindungen, chemischen Vorprodukten, chemischen Produkten und hochreinen und ultrahochreinen Gasen zu einem Prozessinstrument oder einem Zuführungs-/Liefersystem für ein Prozessinstrument zur Verwendung in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie; Behälter aus Glas für die Lagerung und Zuführung von flüssigen und gasförmigen Chemikalien, chemischen Verbindungen, chemischen Vorprodukten, chemischen Produkten, hochreinen und ultrahochreinen Gasen, chemisch- mechanischen Planarisierungs-Slurrys, chemischen Lösungen für die Entfernung von Rückständen und Materialien in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie; Ampullen, Behälter und Gefäße aus Glas für die Lagerung und Zuführung von flüssigen und gasförmigen Chemikalien, chemischen Verbindungen, chemischen Vorprodukten, chemischen Produkten und hochreinen und ultrahochreinen Gasen, die mit Systemen und Sensoren ausgestattet sind, die die Materialmenge oder das Materialniveau in der Ampulle, im Behälter oder Gefäß erkennen
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Produktbewertungs- und Beratungsdienstleistungen zur Verkaufsförderung in Bezug auf experimentelle Produkte und Prototype im Bereich flüssige und gasförmige Chemikalien, chemische Verbindungen, chemische Vorprodukte, chemische Produkte, hochreine Gase und Präparate zur Verwendung in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie; Produktbewertungs- und Beratungsdienstleistungen zur Verkaufsförderung in Bezug auf Ampullen, Behälter und Gefäße aus Glas, Metall und Kunststoff, einschließlich experimenteller Ampullen, Behälter und Gefäße und entsprechender Prototypen
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Durchführung chemischer Analyse, Design, Gestaltung von experimentellen Produkten und Prototypen im Bereich flüssige und gasförmige Chemikalien, chemische Verbindungen, chemische Vorprodukte, chemische Produkte, hochreine Gase und Präparate zur Verwendung in der Elektronik-, Halbleiter- und mikroelektromechanischen Industrie, sowie Beratung und Produktbewertungen in Zusammenhang mit diesen Dienstleistungen; Design und Gestaltung von Ampullen, Behältern und Gefäßen aus Glas, Metall und Kunststoff, einschließlich experimenteller Ampullen, Behälter und Gefäße und entsprechender Prototypen sowie Beratungs- und Produktbewertungsdienste im Rahmen dieser Dienstleistungen; Inspektionsdienstleistungen im Bereich Ampullen, Behälter und Gefäße aus Glas, Metall und Plastik, sowie Beratungs- und Bewertungsdienstleistungen im Rahmen der Inspektion