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Flansche aus Metall, insbesondere zum Verbinden von vakuumtechnischen Komponenten; Leitungen aus Metall für Flüssigkeiten und Gase; vakuumdichte und nicht vakuumdichte Kabelkanäle aus Metall als Durchführungen für elektrische Stromleitungen; Leitungen aus Metall als vakuumdichte und nicht vakuumdichte Durchführungen für Flüssigkeiten und Gase
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Vakuumpumpen einschließlich Gastransfervakuumpumpen, Verdränger-Vakuumpumpen, Oszillationsverdränger-Vakuumpumpen, Membran-Vakuumpumpen, Kolben-Vakuumpumpen, Rotationsverdränger-Vakuumpumpen, Drehschieber-Vakuumpumpen, Sperrschieber-Vakuumpumpen, Wälzkolben-Vakuumpumpen, kinetische Vakuumpumpen; mechanische kinetische Vakuumpumpen, Turbo-Vakuumpumpen, Molekular-Vakuumpumpen, Turbomolekular-Vakuumpumpen; Treibmittel-Vakuumpumpen, Diffusions-Vakuumpumpen; gasbindende Vakuumpumpen, Adsorptions-Vakuumpumpen, Getter-Vakuumpumpen, Kryo-Vakuumpumpen, Kondensatoren als Maschinenteile; Vakuumpumpstände, umfassend mehrere Vakuumpumpen der vorgenannten Art; Ventile, Verbindungsbauteile, Abscheider, Filter, vorgenannte Waren als Maschinenteile; Manipulatoren, insbesondere zur mechanischen Bewegung von Komponenten innerhalb einer Kammer, von außen bewegt; mechanische Manipulatoren, in denen eine Bewegung außerhalb der Kammer in einer Bewegung innerhalb der Kammer resultiert; Vakuumkammern als Maschinenteile; Vakuumkammern als Maschinenteile zum Einbau in einer Prozesstechnik oder zur Aufnahme von Prozesstechnik; Schauglasarmaturen als Teile von Maschinen; Vakuumkammern mit integrierten Schaufenstern als Maschinenteile; Kugellager
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Mess-, Regel-, Steuer- und Kontrollgeräte, Vakuum-Messgeräte; Laborgeräte mit Vakuumkammern zum Experimentieren, Ätzen, Beschichten unter Vakuum; Kontrollgeräte, nämlich Lecksucher, Heliumlecksucher, Lecksucher zur Feststellung von Lecks in Vakuumbehältern und in luftdichten Behältern, Dichtheitsprüfinstrumente und daraus bestehende Dichtheitsprüfsysteme; Stromleitungen; Schauglasarmaturen als Kontroll- und Messinstrumente
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Leitungen, nicht aus Metall, für Flüssigkeiten und Gase; vakuumdichte und nicht vakuumdichte Kabelkanäle als Durchführungen für elektrische Stromleitungen; Leitungen, nicht aus Metall, als vakuumdichte und nicht vakuumdichte Durchführungen für Flüssigkeiten und Gase
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Reparatur, Wartung und Wiederaufbereitung (Instandsetzung) von Maschinen und Geräten der Vakuumtechnik