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Maschinen, Geräte und Instrumente sowie daraus bestehende Anlagen für die Behandlung und/oder Herstellung von Halbleitern, Silizium, Substraten, Ingots, Solarzellen, Siliziumscheiben, Wafern, Verbindungshalbleitern, Halbleiterbauelementen, Leistungshalbleitern; Apparate und Reaktoren (Beschichtungsmaschinen) für die Gasphasenabscheidung auf Oberflächen (CVD, PECVD = Chemical Vapour Deposition Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition); Rohrreaktoren (Beschichtungsmaschinen) und Durchlauf-Anlagen für die Plasmabeschichtung von Solarwafern und Halbleiterwafern; Apparate, Geräte und Anlagen für die Versorgung, Aufbereitung, Reinigung und Rückgewinnung von Flüssigkeiten und Gasen; Anlagen für die Entsorgung von Gasen; Maschinen, Geräte und Instrumente sowie daraus bestehende Anlagen für die Handhabung und zum Transport von Halbleitern, Substrate, Wafern und Solarzellen; Rohranlagen für die Beschichtung von Halbleiter- und Solarwafern mit Antireflex- und Passivierungsschichten; Rohranlagen für die Beschichtung von Halbleiter- und Solarwafern mit Antireflex- und Passivierungssichten; Anlagen für die nasschemische Behandlung von Solarwafern, insbesondere das Ätzen, Strukturieren und Reinigen der Waferoberfläche in Säuren, Laugen und Oxidationsmitteln; Anlagen für die lokale Materialbehandlung, den Dotierstoffeintrag und den Materialabtrag auf Solarwafern mit Hilfe von Lasern; Anlagen für den Auftrag von Metallisierung und elektrischen Kontakten auf Wafern und Solarzellen mit Hilfe von Plasmaspritzen
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Vermessungs-, optische, Wäge-, Mess-, Signal-, Kontrollapparate und -instrumente, jeweils insbesondere für die Fertigung und Bearbeitung von Solarzellen und die Rohstoffe hierfür; Halbleiter und Verbindungshalbleiter; Photovoltaik-/Solarmodule, Photovoltaik-/Solarzellen
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Systeme bestehend aus den Komponenten Diffusionsöfen, Durchlauföfen, Beschichtungsöfen, Einbrennöfen, Vakuumöfen; Vakuumlötöfen, Durchlauföfen für die Trocknung von Siebdruck-Metallisierung auf Substraten und Solarzellen; Anlagen für thermische Vorbehandlungsprozesse oder Fertigungsprozesse, wie Diffusionsöfen, Durchlauföfen, Beschichtungsöfen, Einbrennöfen, Vakuumöfen; Vakuumlötöfen, Durchlauföfen für die Trocknung von Siebdruck-Metallisierung auf Substraten und Solarzellen; Durchlauföfen für das Einbrennen von Siebdruck-Metallisierung auf Substraten und Solarzellen; Anlagen für die lokale Wärmebehandlung auf Solarwafern mit Hilfe von Lasern; Rohröfen für die Phosphor-Diffusion auf Halbleiter- und Solarwafern; Rohröfen für die Oberflächenoxidation von Silizium- und Solarwafern
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