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Chemische Erzeugnisse für gewerbliche und wissenschaftliche Zwecke, insbesondere für Beschichtungen, dünne Schichten, metallkeramische Beschichtungen und Titannitrid-Beschichtungen; chemische Erzeugnisse für auf die Oberfläche von Gegenständen im Hinblick auf das Ändern von mechanischen, chemischen, elektrischen, magnetischen oder optischen Eigenschaften, von Reflexion, Transparenz, Leitfähigkeit, von Oberflächenstruktur bzw. chemischer Zusammensetzung aufgebrachten Schichten; chemische Erzeugnisse für Oberflächenschichten auf Instrumenten aller Art, insbesondere Brillengläser, Linsen, Spiegeln, optischen bzw. elektrischen Filtern
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Unedle Metalle und deren Legierungen; Waren aus Metall, soweit in dieser Klasse enthalten; Rohre, Leitungen, Flansche, Ventile und Behälter aus Metall für Vakuumanlagen
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Maschinen und Werkzeugmaschinen, insbesondere Vakuumbehandlungsanlagen; Vakuumbeschichtungs- oder Vakuumätzanlagen; maschinelle Werkzeuge (Maschinenbau) für alle Arten von Oberflächenbehandlung, insbesondere Werkzeuge (Maschinenbau) für chemisches und physikalisches Reinigen, Strukturieren oder Schichtentfernung und mechanische Behandlung (insbesondere von in einer Vakuumanlage zu beschichtenden Substraten); Beschichtungsmaschinen aller Art, insbesondere Beschichtungsmaschinen zur Herstellung dünner Schichten, Beschichtungsquellen aller Art, insbesondere Verdampfungsquellen, Elektronenstrahlverdampfer, Ionenstrahlquellen, Ionenstrahl-Sputterquellen, PVD-, CVD-, PECVD-Quellen, Kathodenzerstäubungsquellen und Plasmaquellen; Vorrichtungen zur Modifikation von Oberflächen von Gegenständen; Anlagen zur Herstellung von Halbleitern, integrierten Schaltkreisen, Kollektoren (elektrisch); Vorrichtungen zur Herstellung von Oberflächenschichten auf Instrumenten aller Art, insbesondere Brillengläser, Linsen, Spiegel, optische bzw. elektrische Filter, Architekturglas, Solarzellsubstraten oder -modulen, Displaysubstraten oder -modulen, insbesondere Computerbildschirme, Beleuchtungsschichten, organische Leuchtdioden; Zubehör für Vakuumbehandlungsanlagen, nämlich Sputterkathoden, Plasmaquellen, Sputtertargets, Sputterabschirmungen, Sputtermasken, Bedampfungsfilamente, Bedampfungsschiffchen, Keramiktiegel, Quarzkristalle, Substratträger und Gaseinlasssysteme
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Elektronische Apparate und Instrumente zum Regeln, Steuern und Überwachen; elektronische Apparate und Instrumente zum Monitoring von Oberflächen und von Behandlungen von Oberflächen; optische, elektrische, magnetische, spektroskopische Sensoren; Messgeräte und Steuergeräte, nämlich für die Messung des Schichtwachstums oder Schichtabtrags in Dünnschichtprozessanlagen; optisches Monitoring und Schwingquarz-Schichtdicken Messgeräte, Chipträgerreiniger für die Oberflächenreinigung von elektronischen Komponenten, Plasmareinigungseinheiten zur Vorbehandlung der Substrate, die in einer Vakuumanlage zu beschichten sind, oder zur Unterstützung des Beschichtungsprozesses; Laborgeräte und -instrumente, nämlich Zubehör für die Dünnschichttechnologie, insbesondere Sputterkathoden, Plasmaquellen, Sputtertargets, Sputterabschirmungen, Sputtermasken, Bedampfungsfilamente, Bedampfungsschiffchen, Keramiktiegel, Quarzkristalle Substratträger und Gaseinlasssysteme; Computerprogramme, insbesondere zum Regeln, Steuern und Überwachen von Oberflächen und von Behandlungen von Oberflächen; Vakuummessgeräte; Sputterkathoden
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Finanzielle Beratung auf den Gebieten der Vakuum-, Hochvakuumtechnik und Dünnschichttechnologie
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Industriemontage, Installations-, Inbetriebnahme- und Unterhaltungsarbeiten für Vakuumvorrichtungen und Vakuumproduktionsanlagen aller Arten
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Materialbearbeitung; Oberflächenbehandlung; Oberflächenbeschichtungen für Werkzeuge, für optische und elektronische Bauteile und für Teile von Präzisionskonstruktionen; Beschichtungsdienstleistungen für Werkzeuge, für optische und elektronische Bauteile und für Teile von Präzisionskonstruktionen; Verschleissschutz (Materialbearbeitung) und funktionelle Beschichtungsdienstleistungen für Werkzeuge und Präzisionskomponenten, einschliesslich Vorbehandlung und Nachbehandlung
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Ausbildung von Ingenieuren und Technikern, von Kunden im Bereich von Vakuumanlagen für Beschichtungs-, Ätz-, Plasma- und Thermobehandlungsprozesse
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Wissenschaftliche und technologische Dienstleistungen und Forschungsarbeiten; Dienstleistungen eines Physikers, Dienstleistungen eines technischen Mess- und Prüflabors, technische Beratung auf den Gebieten der Vakuum-, Hochvakuumtechnik und Dünnschichttechnologie Forschung; Zur Verfügungstellen von telefonische und über elektronische Kommunikationsmittel erbrachten Auskünften und Beratung im Bereich von Vakuumanlagen für Beschichtungs-, Ätz-, Plasma- und Thermobehandlungsprozesse; Entwicklung im Bereich der Vakuumtechnik insbesondere der Hochvakuum- und Dünnschichttechnologie und der damit zusammenhängenden Dokumentationen; technologische Beratung auf den Gebieten der Vakuum-, Hochvakuumtechnik und Dünnschichttechnologie
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Patentverwertung im Bereich der Vakuumtechnik insbesondere der hochvakuum- und Dünnschichttechnologie
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