7
Maschinen und Werkzeugmaschinen für Atomlagenabscheidung
9
Atomlagenabscheidungsapparate, nämlich Industrielle chemische und industrielle fotochemische Reaktoren; Reaktorsysteme bestehend aus mehreren industriellen chemischen und industriellen fotochemischen Reaktoren, Vorläuferquellen, Edelgasquellen, Plasmaquellen, Quelleinheiten, Ladeeinheiten, Hubeinheiten, Substrathalter, Abscheideeinsätze, Diffusionsverstärker, Gasbehandlungseinheiten, Partikelfallen, Wasserkühleinheiten und -kühler, alles verkauft als Bestandteil der industriellen chemischen und industriellen fotochemischen Reaktoren für atomar geschichtete Strukturen; Reaktorsysteme bestehend aus mehreren industriellen chemischen und industriellen fotochemischen Reaktoren wie vorstehend beschrieben
40
Herstellung von fortgeschrittenen Atom- und Moleküllagenabscheidungs-Beschichtungs- und -Filmmaterialien, für Dritte
42
Forschung in Bezug auf Beschichtungen für Metalle und Nichtmetalle und Entwicklung von Beschichtungen für Metalle und Nichtmetalle; Beratung durch Sachverständige für Dritte in den folgenden Bereichen: Entwicklung von Beschichtungen für Metalle und Nichtmetalle; Beratung durch Sachverständige für Dritte in den folgenden Bereichen: Qualitätskontrolle von Beschichtungen für Metalle und Nichtmetalle; Beratung durch Sachverständige für Dritte in den folgenden Bereichen: Prüfung von Beschichtungen für Metalle und Nichtmetalle; Wissenschaftlich-fachliche Beratung für Dritte in den folgenden Bereichen: Beschichtungen für Metalle und Nichtmetalle; Technische Fachberatung für Dritte in den folgenden Bereichen: Beschichtungen für Metalle und Nichtmetalle; Technischer Support im Softwarebereich; Beratung für Dritte in den folgenden Bereichen: Projektmanagement für Entwurf, Planung und Umsetzung von wissenschaftlicher Forschung in Bezug auf Design, Entwicklung und Herstellung von fortgeschrittenen Atom- und Moleküllagenabscheidungs-Beschichtungs- und -Filmmaterialien; Beratung in Bezug auf wissenschaftliche Forschung in den folgenden Bereichen: Design, Entwicklung und Herstellung von fortgeschrittenen Atom- und Moleküllagenabscheidungs-Beschichtungs- und -Filmmaterialien, einschließlich Prozessdesign und Prozessausrüstungsdesign