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Materialien, Nämlich, Metalle, Nichtmetalle, Keramik, Oxide, Nitride, Organische Verbindungen und Polymere zur Verwendung in Auftragssystemen zur Herstellung von Dünnfilmen für Anwendungen in der Halbleiter-, Optik- und Nanotechnologie
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Physikalische und chemische Gasphasenabscheidesysteme, nämlich Maschinen für die Sputterdeposition, Elektronenstrahlverdampfung, thermische Verdampfung, Ionenstrahlbeschichtung, Ionenstrahl-Sputterdeposition, ionenstrahlgestützte Deposition, Laserstrahlverdampfung, Atomlagenabscheidung; Vakuumausrüstungen und -systeme bestehend aus Vakuummaschinen und Vakuumpumpen zur Verwendung für die Dünnschichtabscheidung, -ätzung und -reinigung; Beschichtungssystembauteile als Teile von Beschichtungsmaschinen, Nämlich, Substrattische, -befestiger und -träger, thermische Verdampfungsquellen, Nämlich, Aufdampfschiffchen, Aufdampfdrähte und -tiegel, Magnetronsputterquellen, Elektronenstrahlverdampfer, Nanopartikelgeneratoren, Ionengeneratoren, Ionenbeschleuniger, Geladene-Partikel-Generatoren für Materialbeschichtungs- und Oberflächenveränderungszwecke; Beschichtungssystembauteile als Teile von Beschichtungsmaschinen, Nämlich, Probenhandhabungsarme und -roboter, Schleusendurchführungen, Geräte zur Dünnschichtdickenmessung, optische Messgeräte, Prozessgaszufuhr- und -eindämmungsausrüstung, Vakuumventile, Vakuumpumpen [Maschinen] und Pumpsysteme; Vakuumausrüstungen und -systeme bestehend aus Vakuummaschinen und Vakuumpumpen zur Verwendung in kontrollierten Umwelt- und Raumsimulationen
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Design, Entwicklung und Fertigung von physikalischen und chemischen Aufdampfsystemen; Ingenieurtechnische Dienstleistungen im Bereich physikalische und chemische Aufdampfsysteme; Design, Entwicklung und Fertigung von Vakuumausrüstungen und -systemen zur Verwendung beim Aufdampfen, Ätzen und Reinigen von Dünnfilm; Ingenieurtechnische Dienstleistungen im Bereich Vakuumausrüstungen und Systeme zur Verwendung beim Aufdampfen, Ätzen und Reinigen von Dünnfilm; Mechanische und chemische Ingenieurdienstleistungen; Design, Entwicklung und Fertigung von Vakuumausrüstungen und -systemen zur Verwendung für kontrollierte Umwelt- und Raumsimulationen; Ingenieurtechnische Dienstleistungen im Bereich Vakuumausrüstungen und Systeme zur Verwendung für kontrollierte Umwelt- und Raumsimulationen