7
Maschinen für die Herstellung von Produkten der Informationstechnologie, insbesondere in den Bereichen Halbleiter, Datenspeicher, Flachbildschirme und optische Komponenten; Vakuumpumpen (Maschinen), namentlich für die Halbleiterindustrie; Maschinen für die Halbleiterfertigung, Maschinen für die Chip-Fertigung und Chip-Montage; Dünnschicht-Fertigungsapparate; Apparate zur Durchführung von Beschichtungs- und Ätzprozessen, namentlich in der Halbleiterfertigung; Apparate für die Montage von Halbleiterbauelementen; Apparate für die Herstellung von elektrischen Verbindungen bei Halbleiterbauelementen, Beschichtungsapparate, insbesondere für optische und magnetische Datenträger; Apparate für die Herstellung von elektrischen Verbindungen zwischen Chips und Trägersubstrat, sowie für die Flip-Chip-Montage; alle vorgenannten Waren soweit in Klasse 7 enthalten
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Apparate für die automatische Steuerung und Überwachung von Produktionslinien, Meß-, Analyse- und Steuergeräte für die Halbleiterindustrie; Computersoftware; Hybridschaltungen, Leiterplatten mit oder ohne Bestückung; Halbleiterbauteile, wie Transistoren, Gleichrichter, integrierte Schaltungen und andere elektronische Bauteile, insbesondere solche, die aus polykristallinem Silicium und Siliciumausgangsmaterialien hergestellt sind; elektronische Bauelemente; Wafer (Siliciumscheiben für integrierte Schaltkreise); Glaswafer (Glasscheiben für integrierte Schaltkreise); Ingots (Block aus Halbleitermaterial); Halbleiter; integrierte Schaltkreise
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Wissenschaftliche und industrielle Forschung, Erstellen von technischen Gutachten, technische Beratung, Dienstleistungen eines Chemikers, Ingenieurs und/oder Physikers; Entwurf und Entwicklung von Computerhardware und -software