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Maschinen und Werkzeugmaschinen, nämlich Maschinen für die Plasmabehandlung von Gegenständen, insbesondere zur Behandlung von Siliziumgegenständen; Maschinen zur Behandlung von Siliziumscheiben; Schleifmaschinen; Maschinen für den Transport und die Lagerung von Siliziumscheiben; Plasma-Ätz-Anlagen; Plasmaquellen
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Apparate und Instrumente für die Leitung, die Verteilung, die Umwandlung, die Speicherung, die Regulierung und/oder die Steuerung von elektrischen Strom zum Betreiben einer Plasmabehandlungsanlage; elektrische Geräte und Systemsteuerungen sowie Teile davon für Plasmabehandlungsanlagen und -anlagenteile, soweit in Klasse 9 enthalten, Datenverarbeitungsgeräte und Computer für die Steuerung einer Plasmabehandlungsanlage
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Dienstleistungen im Bereich der Wissenschaft und der Technologie, sowie diesbezügliche Forschungs-, Entwicklungs- und Designerdienstleistungen, insbesondere Forschung und Beratung auf dem Gebiet der Plasmabehandlung von Gegenständen; industrielle Analyse und Forschungsdienstleistungen, insbesondere Dienstleistung eines Ingenieurs, eines Technikers, eines Physikers, eines Informatikers; Ingenieurarbeiten; Planung, Leitung und Überwachung von Projekten, insbesondere technischen Projekten auf dem Gebiet der Plasmatechnologie; Planen und Konstruieren von Anlagen und Systemsteuerungen für die Plasmabehandlung von Gegenständen; Anpassung und Entwicklung von Betriebsparametern für den Betrieb von Plasmabehandlungsanlagen und Instandhaltung von Plasmabehandlungsanlagen