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Edel- und Unedelmetalle sowie Nichtmetalle, unbearbeitet, teilweise bearbeitet und bearbeitet, auch mit höchster Reinheit und daraus hergestellte Legierungen und Verbindungen, insbesondere Aluminium, Eisen, Silizium, Molybdän, Titan, Wolfram, Kobalt, Kupfer, Nickel, Chrom, Indium, Zinn, Gold, Platin, Palladium, Ruthenium, Osmium, Silizium, Zink enthaltende Legierungen; Halbzeuge daraus in Form von Formteilen, insbesondere Gußteilen, Preßteilen oder Sinterteilen und Werkstücke daraus, welche mittels Plasmaeinwirkung zerstäubt werden, insbesondere für die Kathodenzerstäubung; sämtliche vorgenannten Waren für die Elektronik, Datenspeichertechnik, Glasindustrie, Solartechnik, Werkzeugbau, Automobilzulieferindustrie, insbesondere für das reaktive oder nicht reaktive plasmagestützte Abscheiden von Magnetspeicherschichten, tribologischen Schichten, Low-E Glasschichten, Dekorativschichten, Reflektorschichten, Antireflexschichten, Widerstandsschichten, Leiterbahnschichten, Diffusionssperrschichten, transparent leitfähige Schichten; Aufdampfmaterialien, insbesondere Metall und Metallegierungen, insbesondere im wesentlichen Aluminium, Blei, Chrom, Eisen, Germanium, Gold, Indium, Kupfer, Nickel, Titan, Palladium, Platin, Silber, Zinn, Zink, Zirkonium enthaltende Legierungen sowie insbesondere Metalloxide, insbesondere im wesentlichen Aluminiumoxid, Bariumtitanat, Ceroxid, Chromoxid, Hafniumoxid, Magnesiumoxid, Siliziumdioxid, Siliziummonoxid, Tantaloxid, Titanoxid, Titandioxid, Zirkonoxid enthaltende Legierungen sowie insbesondere Fluoride, insbesondere im wesentlichen Magnesiumfluorid, Kryolith, Lanthanfluorid, Lithiumfluorid enthaltende Legierungen sowie insbesondere Metallsulfide, insbesondere im wesentlichen Antimonsulfid, Zinksulfid, Indiumantimonid enthaltende Legierungen sowie insbesondere Selenidverbindungen, insbesondere im wesentlichen Wismutselenid, Cadmiumselenid, Indiumarsenid, Indiumselenid, Bleiselenid, Zinkselenid enthaltende Legierungen sowie insbesondere Telluride, insbesondere im wesentlichen Cadmiumtellurid, Bleitellurid, Zinktellurid enthaltende Legierungen; Verdampferquellen, insbesondere Tiegel aus hochschmelzenden Materialien, insbesondere aus Molybdän, Tantal, TaW, Graphit zum Aufschmelzen und Verdampfen von Metallen oder Metallegierungen, insbesondere Kupfer, Gold, Aluminium, Silber, Chrom, Nickel, Magnesium sowie Silizium enthaltende Legierungen zum reaktiven oder nichtreaktiven Abscheiden von Reflex-, Antireflex-, Low-E-, dekorativen oder Diffusionssperrschichten auf Substraten, soweit in Klasse 11 enthalten; Dienstleistungen auf dem Gebiet der Sputterkathodenherstellung, nämlich Löten und Kleben von zu zerstäubenden Beschichtungswerkstoffen auf flächigen Platten mit Weichloten, insbesondere mit Zinnlegierungen aufweisenden Weichloten und/oder mit thermisch beständigen Klebstoffen, insbesondere mit Epoxydharz enthaltenden Klebstoffen und/oder mit Silikonklebstoffen