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Wissenschaftliche, Schifffahrts-, Vermessungs-, fotografische, Film-, optische, Wäge-, Mess-, Signal-, Kontroll-, Rettungs- und Unterrichtsapparate und -instrumente; Apparate, Instrumente und Bauelemente zum Leiten, Schalten, Umwandeln, Speichern, Regeln und Kontrollieren von Elektrizität; Sensoren; Messwertaufnehmer; Aktuatoren; Drucksensoren; Durchflusssensoren; Temperatursensoren; Füllstandssensoren; Sensoren zur Erfassung von Zustandsgrößen von Flüssigkeiten und Gasen; Strömungssensoren; Viskositätssensoren; Gassensoren; Leitfähigkeitssensoren; Sensoren zur Bestimmung der Dielektrizitätszahl; Feuchtesensoren; optische Sensoren; magnetische Sensoren; kapazitive Sensoren; chemische Sensoren; thermoelektrische Sensoren; Abstandssensoren; Neigungssensoren; piezoelektrische Aktuatoren; elektrostatische Aktuatoren und magnetische Aktuatoren; aktive und passive elektrische und elektronische Bauelemente; in Dickschichttechnik oder Dünnschichttechnik hergestellte aktive und passive elektrische und elektronische Bauelemente; Mikrowellenantennen; Maßverkörperungen (Messgeräte) soweit in Klasse 9 enthalten, einschließlich solche mit magnetischen, optischen oder thermischen Inkrementen; Mikrosystemegeräte für sensorische und/oder aktuatorische Prozesse mit mechanischen, thermischen, magnetischen und elektrischen Wirkprinzipien; Magnete, ausgenommen Zündmagnete für Motoren; Geräte zur Aufzeichnung, Übertragung und Wiedergabe von Ton und Bild; Datenverarbeitungsgeräte und Computer; Datenverarbeitungsprogramme und Datenträger
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Materialbearbeitung; Aufbringen und Strukturieren von elektrisch leitfähigen, halbleitenden und elektrisch isolierenden Schichten für die Herstellung von elektrischen und elektronischen Bauelementen, Mikrosystemen und Sensoren; Aufbringen und Strukturieren von optischen Schichten; Aufbringen und Strukturieren von Schichten zur Wärmeleitung oder Wärmeisolation; Aufbringen und Strukturieren von Schichten für Aufbau- und Verbindungstechniken; Aufbringen und Strukturieren von Schichten zur Passivierung; Plasmabehandlung von Werkstoffen; Mikrobearbeitung von Werkstoffen; Galvanisieren
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wissenschaftliche und technologische Dienstleistungen und Forschungsarbeiten und diesbezügliche Designerdienstleistungen; industrielle Analyse- und Forschungsdienstleistungen; Entwurf und Entwicklung von Computerhardware und Computersoftware; Durchführung chemischer Analysen; Dienstleistungen eines Chemikers; Dienstleistungen eines Ingenieurs; Dienstleistungen eines Physikers; Forschungen auf dem Gebiet der Technik; Forschungen auf dem Gebiet des Maschinenbaus; Forschungen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik; Forschungen auf dem Gebiet der Chemie; Forschungen auf dem Gebiet der Physik; Erstellung von technischen Gutachten; Materialprüfung; technische Projektplanungen; Qualitätsprüfung; Erstellung von Programmen für die Datenverarbeitung; Dienstleistungen eines EDV-Programmierers; Recherche- und Entwicklungsdienste bezüglich neuer Produkte für Dritte; Werkstoffprüfung; Erarbeitung von Verfahren zur Herstellung neuer Produkte der Dünnfilmtechnik; Erarbeitung von Konstruktionen für Produkte; Erarbeitung von Schemata (Layouts) für die Anordnung von Bauelementen einer elektronischen Schaltung; Entwicklung von Sensoren, Messverfahren und Messprinzipien