4
Flüssige Betriebsstoffe (technische Öle und Fette) und Schmierstoffe (Gleitlacke) für Vakuumpumpen; technische Vakuum-Dichtungsfette; alle vorgenannten Dienstleistungen nicht in den Bereichen Schweißgeräte, Schweißelektroden, Schweißstäbe, Schweißbekleidung, Schweißzubehör, Schweißpulver, Schneidgeräte
7
Maschinen und Werkzeugmaschinen für Vakuumerzeugung und Dünnschichttechnologie; Maschinen für die Beschichtung von Werkzeugen und Bauteilen und daraus zusammengesetzte Anlagen; Beschichtungsmaschinen für optische und magnetische Datenspeichermedien und daraus zusammengesetzte Anlagen; Maschinen zum Beschichten und Ätzen von Komponenten und Bildschirmen und daraus zusammengesetzte Anlagen; Komponenten und Ersatzteile für Maschinen (soweit in Klasse 7 enthalten), nämlich Vakuumdurchführungen, Vakuumventilen, Vakuumsteuerungen, Vakuumpumpen (Maschinen); Rotationsvakuumpumpen (Maschinen), Treibmittelpumpen (Maschinen); Kondensationsvakuumpumpen (Maschinen); Sorbtionspumpen (Maschinen); Regel-, und Steuergeräte für Vakuumpumpen, soweit in Klasse 7 enthalten; Vakuumabsperrschieber (Maschinen), Vakuumventile (Maschinenteil), Vakuumverbindungen (Maschinen)und Vakuumbauteile für Maschinen; Abscheider; Filter für Vakuumpumpen (Maschinen); maschinenartige Geräte für die Tieftemperaturtechnik; Lecksuchgeräte (Maschinen), insbesondere für die Fertigstellung von Lecks in Vakuum- und luftdichten Behältern; Vakuumapparate (Maschinen) zum Betrieb unter Grob-, Fein-, Hoch- und Ultrahochvakuum; Apparate zum Abfüllen, Imprägnieren (Maschinen), Mischen (Maschinen), Zerstäuben (Maschinen) oder Beschichten von Materialien unter Vakuum; maschinelle Apparate zur Behandlung von Metallen im Vakuum; Montageautomaten (Maschinen) für die Halbleiterindustrie; Produktionsanlagen (Maschinen) zur Herstellung von Flachbildschirmen; alle vorgenannten Waren nicht in den Bereichen Schweißgeräte, Schweißelektroden, Schweißstäbe, Schweißbekleidung, Schweißzubehör, Schweißpulver, Schneidgeräte; Energieversorgungsgeneratoren als Teile von Energieversorgungsanlagen für Raumfahrtgeräte, Raumsonden, Raumstationen, Raumlaboratorien und Satelliten; Quecksilberdampfturbinen; Triebwerke für Fahrzeuge (ausgenommen Landfahrzeuge), insbesondere Rückstoßtriebwerke, Staustrahltriebwerke, Feststoff- und Flüssigkeitsraketen (Antriebe), Gasturbinentriebwerke, auch für elektrische Raumfahrtantriebe
9
Optische Apparate und Instrumente; optische Bauteile für Daten- und Videoprojektion, Beleuchtungsindustrie, Sensorik, Instrumentenbau sowie Biotechnologie; optische und elektronische Bauteile mit Oberflächen-Vergütungen; Komponenten und Ersatzteile für Vakuumbeschichtungsanlagen, nämlich elektronische Steuer- und Regelgeräte; Totaldruck-Sensoren (Messgerät), Messgeräte und Steuergeräte, nämlich für die Messung des Totaldrucks in Vakuumanlagen, Partialdruckmessgeräte für Vakuumanlagen; Gasanalysegeräte, insbesondere für die Bestimmung der Gaszusammensetzung bei tiefen und hohen Drucken; elektronische Lecksucher zur Feststellung von Lecks in vakuum- und in luftdichten Behältern, Sputterkathoden (hochvakuumbasiert), Sputtertargets (hochvakuumbasiert) für Vakuumanlagen, Sputterabschirmungen (hochvakuumbasiert), Sputtermasken (hochvakuumbasiert), Bedampfungsfilamente (elektrisch betriebene Glühwendel) für Vakuumanlagen, Bedampfungsschiffchen (Behälter) für Vakuumanlagen, insbesondere Keramiktiegel; Halbleiter; integrierte Schaltkreise; elektrotechnische Bauelemente (soweit in Klasse 9 enthalten); Mess- und Kontrollgeräte für Vakuumpumpen; Dichtheitsprüfapparate; Vakuummessgeräte; Partialdruckmessgeräte; Schichtdickenmessgeräte; Gasanalysengeräte; Regel- und Steuergeräte für Vakuumpumpen, soweit in Klasse 9 enthalten; elektrische Regelgeräte für Vakuumanwendungen; alle vorgenannten Waren nicht in den Bereichen Schweißgeräte, Schweißelektroden, Schweißstäbe, Schweißbekleidung, Schweißzubehör, Schweißpulver, Schneidgeräte; Geräte für Aufnahme, Aussendung, Übertragung, Empfang, Wiedergabe und Bearbeitung von Lauten, Zeichen und/oder Bildern; Nachrichtensatelliten, Sender, Geräte der leitungsgebundenen und der drahtlosen Informationsgewinnungstechnik, der Informationsübertragungstechnik und der Informationsverarbeitungstechnik, einschließlich der Höchstfrequenz- und Schalltechnik, Funkpeilanlagen, Radar- und Ortungsgeräte, Radarsonden und Navigationsgeräte, Laser-Geräte für die Gewinnung, Übertragung und Verarbeitung von Informationen, Sonar-Geräte, Nachtsichtgeräte, Ultraschallgeräte, fotoelektrische Mess-, Steuer- und Regelgeräte, Fernlenkgeräte zur Erzeugung und drahtlosen oder drahtgebundenen Übertragung von Steuer- und Lenksignalen an unbemannte und bemannte Land-, Luft- und Wasserfahrzeuge sowie an unbemannte Flugkörper und Raumfahrtgeräte sowie aus diesen Geräten zusammengesetzte Anlagen; Geräte der Raumfahrtelektronik; thermoelektrische, solarthermische und photothermische Energiewandler; elektrische Solarzellen; elektronische Geräte zur Aufnahme des Emissionsspektrums der Sonne und zur Wiedergabe eines Emissionsspektrums vergleichbar mit dem der Sonne; Satelliten für wissenschaftliche Zwecke und Teile davon; Akkumulatoren (elektrisch) für Raumfahrtgeräte, Raumsonden, Raumstationen, Raumlaboratorien und Satelliten
11
Apparate zum Trocknen, Gefriertrocknen, Schmelzen, Entgasen, Verdampfen oder Bedampfen von Materialien unter Vakuum; alle vorgenannten Waren nicht in den Bereichen Schweißgeräte, Schweißelektroden, Schweißstäbe, Schweißbekleidung, Schweißzubehör, Schweißpulver, Schneidgeräte
12
Flugkörper, nämlich unbemannte Luftfahrzeuge, insbesondere ferngesteuerte Luftfahrzeuge mit oder ohne Rückstoßantrieb; Teile von Flugkörpern, soweit in Klasse 12 enthalten; Raumfahrtgeräte, insbesondere Raumsonden, und steuerbare Raumflugkörper; Teile von Raumfahrtgeräten, soweit in Klasse 12 enthalten; Teile von Triebwerken für Fahrzeuge (ausgenommen Landfahrzeuge) und deren Teile; Raketen und Teile von Raketen, insbesondere Nutzlastverkleidungen für Trägerraketen
40
Materialbearbeitung, alle vorgenannten Dienstleistungen nicht in den Bereichen Schweißgeräte, Schweißelektroden, Schweißstäbe, Schweißbekleidung, Schweißzubehör, Schweißpulver, Schneidgeräte
42
Dienstleistungen im Bereich der Wissenschaft und der Technologie sowie diesbezügliche Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen; industrielle Analysen und Forschung; Entwurf und Entwicklung von Computern und Computerprogrammen; alle vorgenannten Dienstleistungen nicht in den Bereichen Schweißgeräte, Schweißelektroden, Schweißstäbe, Schweißbekleidung, Schweißzubehör, Schweißpulver, Schneidgeräte