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Maschinen und Werkzeugmaschinen für Materialbearbeitung und Produktion; Maschinen für die Herstellung, Bearbeitung und Verarbeitung von Halbleitern; Maschinen für die Herstellung, Bearbeitung und Verarbeitung von Wafern; Maschinen für die Herstellung von elektrischen und elektronischen Bauteilen; Maschinen für die Herstellung, Bearbeitung und Verarbeitung von Halbleiterbauelementen und Halbleiterbauteilen; Handhabungssysteme für Halbleiterscheiben in Form von Industrierobotern; Substrattransportmaschinen zur Verwendung in der Fertigungsautomation; Schleusenmodule zur Verwendung in der Fertigungsautomation [Maschinen und Maschinenteile]; Substratausrichter zur Verwendung in der Fertigungsautomation; atmosphärische Substrathandhabungsmaschinen zur Verwendung in der Fertigungsautomation; Vakuum-Substrathandhabungsmaschinen zur Verwendung in der Fertigungsautomation; Maschinen für die Bearbeitung und Verarbeitung von Folien, insbesondere von Folien aus Kunststoff, Metall oder Halbmetall; Maschinen zur Beschichtung von Folien, insbesondere von Folien aus Kunststoff, Metall oder Halbmetall; Maschinen für die Bearbeitung und Beschichtung von Materialoberflächen; Maschinen für die Herstellung von elektrischen Schaltkreisen und Leiterplatten; Maschinen für die Herstellung von informationstechnologischen, audiovisuellen, multimedialen und fotografischen Geräten; Maschinen für die Herstellung von Apparaten, Instrumenten und Kabeln für Elektrizität; Maschinen für die Herstellung von optischen Geräten und Ausrüstung, Verstärkungsgeräten und Korrektoren; Maschinen für die Herstellung von Sicherungs-, Sicherheits-, Schutz- und Signalgeräten sowie -ausrüstung; Maschinen für die Herstellung von Navigations-, Orientierungs-, Standortverfolgungs-, Zielverfolgungs- und Kartierungsgeräten; Maschinen für die Metall-, Holz- und Kunststoffverarbeitung; Maschinen für die Montage- und Handhabungstechnik; industrielle Manipulatoren [Maschinen]; Motoren, Antriebe und Steuerungen für den Betrieb von Maschinen und Motoren; Industrieroboter; Serviceroboter [Industrieroboter]; Roboter [Maschinen], die mittels Cloud-Computing, Cloud-Networks oder IoT-[Internet-of-Things]-Kommunikation ferngesteuert, eingestellt, optimiert und/oder überwacht werden; automatisierte Montagemaschinen; Industrieroboter, Sortiermaschinen und Transportmaschinen zum Transportieren oder Sortieren von Substraten und Substratfertigungswerkzeugen auf dem Gebiet der Fertigungsautomation; Industrieroboter zur Verwendung für Transportzwecke im Herstellungsprozess von integrierten Schaltkreisen und anderen elektronischen Geräten; Tool-Plattformen als Maschinen und Maschinenteile zur Verwendung bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen, Halbleiter-, LED- und OLED-Geräten; Motoren, Antriebe, Maschinenteile und Steuerungen für den Betrieb von Maschinen und Motoren zur Verwendung im Zusammenhang mit der Fertigungsautomation; Maschinenkupplungen und -treibriemen, ausgenommen für Landfahrzeuge, zur Verwendung im Zusammenhang mit der Fertigungsautomation; Flip-Chip-Montagemaschinen; Maschinen für den Einbau von Chipbauteilen; Robotermanipulatoren zur Verwendung auf dem Gebiet der Fertigungsautomation; Roboter-Übergabemechanismen zur Verwendung in Prozesswerkzeugen und integrierten Wafer-Handhabungssystemen, insbesondere automatische Wafer-Handhabungsplattformen; Deckelverschließer und -entferner für Lagerbehälter [Maschinen und Maschinenteile]; Pumpen, Kompressoren und Ventilatoren; Elektrogeneratoren; Umzugs- und Transportgeräte; Maschinen und Werkzeugmaschinen für Materialbearbeitung und Produktion, nämlich mechatronische Systeme, hauptsächlich bestehend aus hydraulischen, pneumatischen und/oder mechanischen Komponenten; Belade- und Entlademaschinen [Loadports]; Trägerstationen für einen Transportbehälter für Halbleiterscheiben [Maschinen und Maschinenteile]; Bestückungsvorrichtungen für Bauteile [Maschinen und Maschinenteile]; Teile für Maschinen und Werkzeugmaschinen für Materialbearbeitung und Produktion, nämlich mechatronische Maschinenteile, hauptsächlich bestehend aus hydraulischen, pneumatischen und/oder mechanischen Komponenten; Teile und Zubehör für alle vorgenannten Waren, soweit in dieser Klasse enthalten; alle vorgenannten Waren auch zur Verwendung mit oder innerhalb einer Vakuumumgebung
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aufgezeichnete Daten; informationstechnologische, audiovisuelle, multimediale und fotografische Geräte; Magnete, Magnetisierungs- und Entmagnetisierungsvorrichtungen; wissenschaftliche Geräte und Laborgeräte für physikalische Reaktionen mittels Elektrizität; Apparate, Instrumente und Kabel für Elektrizität; optische Geräte und Ausrüstung, Verstärkungsgeräte und Korrektoren; Sicherungs-, Sicherheits-, Schutz- und Signalgeräte sowie -ausrüstung; Tauchausrüstung; Navigations-, Orientierungs-, Standortverfolgungs-, Zielverfolgungs- und Kartierungsgeräte; Mess-, Erkennungs-, Überwachungs- und Kontrollgeräte; Automatisierungssteuerungen für die Produktion; industrielle Fabrikautomatisierungssteuerungen; Halbleiterbauelemente; Halbleiterbauteile; Computersoftware; Teile und Zubehör für alle vorgenannten Waren, soweit in dieser Klasse enthalten
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kundenspezifische Herstellung, Bearbeitung und Verarbeitung von Halbleitern; kundenspezifische Herstellung, Bearbeitung und Verarbeitung von Wafern; kundenspezifische Herstellung von elektrischen und elektronischen Bauteilen; kundenspezifische Herstellung, Bearbeitung und Verarbeitung von Halbleiterbauelementen und Halbleiterbauteilen; kundenspezifische Herstellung von elektrischen Schaltkreisen und Leiterplatten; kundenspezifische Bearbeitung und Verarbeitung von Folien, insbesondere von Folien aus Kunststoff, Metall oder Halbmetall; kundenspezifische Beschichtung von Folien, insbesondere von Folien aus Kunststoff, Metall oder Halbmetall; kundenspezifische Bearbeitung und Beschichtung von Materialoberflächen; kundenspezifische Herstellung von informationstechnologischen, audiovisuellen, multimedialen und fotografischen Geräten; kundenspezifische Herstellung von Apparaten, Instrumenten und Kabeln für Elektrizität; kundenspezifische Herstellung von optischen Geräten und Ausrüstung, Verstärkungsgeräten und Korrektoren; kundenspezifische Herstellung von Sicherungs-, Sicherheits-, Schutz- und Signalgeräten sowie -ausrüstung; kundenspezifische Herstellung von Navigations-, Orientierungs-, Standortverfolgungs-, Zielverfolgungs- und Kartierungsgeräten