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Beschichtungsmaschinen und daraus bestehende Anlagen, insbesondere Sputtermaschinen und daraus bestehende Anlagen; Maschinen zum Magnetronsputtern und daraus bestehende Anlagen, insbesondere Maschinen zum Magnetronsputtern mit verschwenkbarem Magnetron sowie deren Bestandteile; Maschinen zum Niederenergie-Sputtern; Maschinen, Vorrichtungen und Instrumente zum Herstellen von Bildschirmen, Batterien und Touch-Panels; Maschinen, Vorrichtungen und Instrumente zur Verwendung in der Herstellung von Dünnfilm-Transistoren; Maschinen, Vorrichtungen und Instrumente zur Verwendung in der Herstellung von LCD-Displays; Dünnschichtbearbeitungsmaschinen und daraus bestehende Einrichtungen; Dünnschichtbearbeitungs-Vakuum-Maschinen und daraus bestehende Einrichtungen; Abscheidungsbearbeitungsmaschinen und daraus bestehende Einrichtungen; alle vorgenannten Maschinen und Anlagen zur Beschichtung aller Arten von Substraten aus synthetischen und/oder mineralischen Materialien, insbesondere mineralischem Glas, mit transparenten und/oder nichttransparenten und/oder abnutzungsresistenten und/oder optischen und/oder leitenden Beschichtungen und/oder nichtleitenden Beschichtungen und/oder Beschichtungen mit einer elektrischen oder elektronischen Funktionalität und/oder transparenten leitfähigen Beschichtungen, wie zum Beispiel ITO-Beschichtungen
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Halbleiter; Computerprogramme für die Verwendung mit Glassubstrat-Bearbeitungseinrichtungen und deren Bestandteile, nämlich physische Gasphasenabscheidungs-Reaktoren, insbesondere Magnetron-Sputtermaschinen, Stützrahmen derselben und deren Bestandteile; Computerprogramme für die Verwendung mit Displays, Batterien und Touch-Panels; Computerprogramme für die Verwendung mit Sputter-Kathoden und Rohrkathoden insbesondere Magnetron-Sputtermaschinen, die ein neigbares Magnetron verwenden und Teile davon
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