7
Maschinen und daraus zusammengestellte Anlagen für die Vakuumerzeugung oder Materialbearbeitung; Zubehör und Ersatzteile für Maschinen für die Vakuumerzeugung oder Materialbearbeitung, insbesondere Vakuumpumpen (Maschinen), Regel- und Steuergeräte für Vakuumpumpen, Sputtertargets, Sputterabschirmungen und Sputtermasken zur Beschichtung von Materialien und Oberflächen mittels Vakuumtechnologie
9
physikalische oder chemische Apparate und Instrumente, nämlich elektrische Geräte und daraus bestehende Vorrichtungen zur Behandlung von Oberflächen durch einen Vakuumprozess oder einen Plasmaprozess; physikalische oder chemische Apparate und Instrumente, nämlich Geräte und Apparate zur Beschichtung oder zur Behandlung von Oberflächen durch einen Vakuumprozess oder einen Plasmaprozess, insbesondere zum Zwecke des Aufdampfens, der Katodenzerstäubung, der Ionenimplantation und des glimmentladungsunterstützten Abscheidens fester Schichten aus der Gasphase; Teile von physikalischen oder chemischen Apparaten und Instrumenten, nämlich von Geräten und Apparaten zur Beschichtung oder zur Behandlung von Oberflächen durch einen Vakuumprozess oder einen Plasmaprozess, insbesondere Vakuumpumpen, Vakuumkammern, Elektronen-Emitter, Generatorkammern, Katoden- oder Tiegelanordnungen, Elektronenstrahlverdampfer, Widerstandsverdampfer, physikalische oder chemische Apparate und Instrumente zur Versorgung der Vakuumkammern mit Prozessgasen sowie elektronische Überwachungs- und Steuergeräte; Materialprüfinstrumente und -maschinen; elektronische Publikationen [herunterladbar]; Magnetdatenträger; Compact Disks [ROM, Festspeicher]
40
Materialbearbeitung
42
wissenschaftliche und technologische Dienstleistungen und Forschungsarbeiten und diesbezügliche Designerdienstleistungen; wissenschaftliche und industrielle Forschung; Durchführung wissenschaftlicher Untersuchungen; wissenschaftliche und technische Beratungsdienste; Erstellen von technischen und wissenschaftlichen Gutachten; technische und wissenschaftliche Projektplanung; Materialprüfung; Qualitätsprüfung; Werkstoffprüfung; technische Entwicklungs- und Recherchedienste bzgl. neuer Produkte für Dritte; Forschung auf dem Gebiet der Technik; Forschung auf dem Gebiet des Maschinenbaus; Forschung auf dem Gebiet der Physik; Forschung auf dem Gebiet der Chemie; Dienstleistungen eines Ingenieurs; Dienstleistungen eines Physikers; Dienstleistungen eines Chemikers