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chemische Erzeugnisse für gewerbliche und wissenschaftliche Zwecke; chemische Erzeugnisse für die Herstellung von Halbleitern, insbesondere auf der Basis von Silizium; chemische Erzeugnisse zum Reinigen und/oder Ätzen von Materialien, insbesondere von Halbleiter- und Siliziumoberflächen; chemische Erzeugnisse insbesondere Gase für die Verwendung in chemischen Abscheidungsprozessen, insbesondere Dampfabscheidungsprozessen; Polykristalline und Einkristalline Halbleitermaterialien, insbesondere Poly- und Einkristalline Siliziumkörper; Silizium
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maschinelle Apparate, Geräte und Maschinen sowie daraus bestehende Anlagen für die Behandlung und/oder Herstellung von Körpern, insbesondere Stangen, Blöcken, Bruchstücken und/oder Scheiben aus poly- oder einkristallinem Halbleitermaterial, insbesondere Silizium; maschinelle Apparate und Reaktoren für die Dampfabscheidung auf Oberflächen (CVD-Reaktoren), insbesondere für die Herstellung von Siliziumkörpern; maschinelle Apparate, und Geräte sowie daraus bestehende Anlagen für die Versorgung, Aufbereitung, Reinigung und Rückgewinnung von Flüssigkeiten und Gasen, im Wesentlichen bestehend aus Pumpen, Filtern (Teile von Maschinen), Ventilen (als Maschinenteile) Dosiermaschinen; maschinelle Apparate, Geräte und Maschinen sowie daraus bestehende Anlagen für die Handhabung und zum Transport von Materialien, insbesondere Stangen, Blöcken, Bruchstücken, Scheiben aus Halbleitermaterial, insbesondere Silizium und/oder Dotierstoffen; Schneidmaschinen, insbesondere zum Zuschneiden von Halbleitermaterial, insbesondere Silizium; Brechwerke, Schlagmaschinen, Zerkleinerungsmaschinen und Mahlwerke, insbesondere zum Brechen/Schlagen/Zerkleinern/Mahlen von Halbleitermaterial, insbesondere Silizium; Siebe, Siebanlagen und Siebmaschinen, insbesondere zum Trennen von Bruchstücken unterschiedlicher Größe aus Halbleitermaterial, insbesondere Silizium; maschinelle Apparate, Geräte und Maschinen sowie daraus bestehende Anlagen zum Reinigen und/oder Ätzen von Materialien, insbesondere von Halbleiter- und Siliziummaterialien; maschinelle Apparate, Geräte und Maschinen sowie daraus bestehende Anlagen zum Beladen eines Schmelztiegels mit Material, insbesondere Siliziummaterial und Dotierstoffen, insbesondere bestehend aus Greifern, Linear- und Schwenkgeräten (soweit in Klasse 7 enthalten), Fördergeräten für Schüttgut einschließlich Förderbändern und Trichtern; maschinelle Apparate, Geräte und Maschinen sowie daraus bestehende Anlagen zum Schmelzen von Materialien, insbesondere von Halbleiter- und Siliziummaterialien
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Schmelztiegel
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wissenschaftliche und technologische Dienstleistungen und Forschungsarbeiten und diesbezügliche Designerdienstleistungen, insbesondere auf dem Gebiet der Herstellung von Poly-Silizium; industrielle Analyse- und Forschungsdienstleistungen; Entwurf und Entwicklung von Computerhardware und -software; technische Beratung bei der Planung und beim Bau von Produktionsanlagen der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie