7
Apparate zum Beschichten von Halbleiterwafern; Apparate zum epitaxialen Beschichten von Halbleiterwafern; Apparate zum Auftragen von Verbundschichten auf Halbleiterwafer; Apparate zur Anwendung des metall-organischen Gasphasenabscheidungsverfahrens bei der Herstellung von Halbleitern; Apparate zur Anwendung der chemischen Gasphasenabscheidung bei der Herstellung von Halbleitern; Apparate für die Anwendung von Ätzverfahren bei der Herstellung von Halbleitern; Apparate zur Herstellung von Halbleitern; Prüf- und Kontrollgeräte für Apparate zur Herstellung von Halbleitern sowie für deren Kontrollgeräte und Kontrollvorrichtungen (Maschinenteile); Gaszufuhrgeräte sowie deren Ersatzteile und Bestandteile für Apparate zur Herstellung von Halbleitern; Abluftbehandlungsapparate sowie deren Ersatzteile und Bestandteile für Apparate zur Herstellung von Halbleitern (Maschinenteile); Mikroplättchenträgervorrichtungen für Apparate zur Herstellung von Halbleitern; Mikroplättchenträgerroboter für Apparate zur Herstellung von Halbleitern; Waferträgervorrichtungen für Geräte zur Herstellung von Halbleitern; Waferträgerroboter für Apparate zur Herstellung von Halbleitern; Waferreinigungsgeräte für Apparate zur Herstellung von Halbleitern; Temperaturmessvorrichtungen für Apparate zur Herstellung von Halbleitern (Maschinenteile); Geräte und Vorrichtungen zum Messen der Biegung und Biegefähigkeit von Wafern für Apparate zur Herstellung von Halbleitern (Maschinenteile); Bestandteile, Ersatzteile und Zubehör für alle vorgenannten Geräte, Vorrichtungen und Apparate
37
Reparatur, Wartung und Installationsdienstleistungen für Apparate zum Beschichten von Halbleiterwafer, für Apparate zum epitaxialen Beschichten von Halbleiterwafern, für Apparate zum Auftragen von Verbundschichten auf Halbleiterwafer, für Apparate zur Anwendung des metall-organischen Gasphasenabscheidungsverfahrens bei der Herstellung von Halbleitern, für Apparate zur Anwendung der chemischen Gasphasenabscheidung bei der Herstellung von Halbleitern, für Apparate für die Anwendung von Ätzverfahren bei der Herstellung von Halbleitern, für Apparate zur Herstellung von Halbleitern sowie bezüglich aller Bestandteilen, Ersatzteilen, Zubehör und Rohren zu allen vorgenannten Geräte und Apparaten; Reparatur, Wartung und Installationsdienstleistungen für Prüfgeräte für Apparate zur Herstellung von Halbleitern, für Gaszufuhrgeräte sowie deren Ersatzteile und Bestandteile für Apparate zur Herstellung von Halbleitern, für Abluftbehandlungsapparate sowie deren Ersatzteile und Bestandteile für Apparate zur Herstellung von Halbleitern, für Mikroplättchenträgervorrichtungen für Apparate zur Herstellung von Halbleitern, für Mikroplättchenträgerroboter für Apparate zur Herstellung von Halbleitern, für Waferträgervorrichtungen für Geräte zur Herstellung von Halbleitern, für Waferträgerroboter für Apparate zur Herstellung von Halbleitern, für Waferreinigungsgeräte für Apparate zur Herstellung von Halbleitern, für Temperaturmessvorrichtungen für Apparate zur Herstellung von Halbleitern, für Geräte und Vorrichtungen zum Messen der Biegung und Biegefähigkeit von Wafern für Apparate zur Herstellung von Halbleitern; Bereitstellen von Informationen bezüglich Reparatur, Wartung und Installationsdienstleistungen für Halbleiterherstellungsapparate, bezüglich Mess- und Prüfgeräten von Halbleiterherstellungsgeräten, bezüglich Gaszufuhrgeräten, bezüglich Abluftbehandlungsapparate, bezüglich Waferträgervorrichtungen, bezüglich Waferträgerrobotern, bezüglich Waferreinigungsgeräten, bezüglich Temperaturmessvorrichtungen, bezüglich Geräten und Vorrichtungen zum Messen der Biegung und Biegefähigkeit von Wafern sowie bezüglich aller Bestandteilen, Ersatzteilen, Zubehör und Rohren zu allen vorgenannten Geräte und Apparaten