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Vorrichtungen, insbesondere automatisierte Vorrichtungen, zum Bewegen, Handhaben, Positionieren, Bearbeiten und/oder Lagern von Werkstücken, Produkten und Hilfsmitteln für Fertigungsprozesse in reiner Umgebung sowie Teile und Zubehör zu solchen Vorrichtungen, alles insbesondere im Zusammenhang mit der Herstellung von elektronischen Bauteilen sowie elektronischen Geräten und soweit in dieser Klasse enthalten
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Computer-Software für automatische Fertigungs- oder Handhabungsprozesse, insbesondere im Zusammenhang mit der Fertigung von elektronischen Bauteilen sowie von elektronischen Geräten
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Reparatur und Unterhalt von Vorrichtungen zum Bewegen, Handhaben, Positionieren, Bearbeiten und/oder Lagern von Werkstücken, Produkten und/oder Hilfsmitteln für Fertigungs- oder Handhabungsprozesse, insbesondere für solche in reiner Umgebung
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Ausbildung und Schulung auf dem Gebiet automatischer Fertigungs- und Handhabungsprozesse
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Ingenieursdienstleistungen, insbesondere Entwicklungsdienstleistungen, im Zusammenhang mit Vorrichtungen oder Verfahren aus dem Bereich der Fertigung oder Handhabung von Werkstücken von elektronischen Bauteilen unter Reinraumbedingungen sowie imZusammenhang mit dem Einsatz, Handhabung oder Lagerung von Produktionsmitteln, insbesondere von Reticles, für die Fertigung von elektronischen Bauteilen oder Geräten unter Reinraumbedingungen