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Maschinen für die Herstellung und Verpackung von elektronischen Halbleiterchips; Maschinen für die Fertigung von Halbleitern und Bauteile dafür und Dazugehörige Bestandteile; Maschinen für die Fertigung von Halbleitern; Maschinen zur Herstellung von Halbleitern und Systeme, bestehend aus einer Vakuumkammer zur Unterbringung von Halbleiterscheiben und von Bauteilen und Maschinen zur Handhabung und Übertragung von Halbleiterscheiben in und aus Vakuumkammern und Bauteile dafür und Dazugehörige Bestandteile; Maschinen für die Bearbeitung von Halbleiterscheiben, nämlich, Maschinen zur Halbleiterplättchenbearbeitung; Industrieroboter zur Handhabung von Halbleiterscheiben; Maschinen für die Herstellung und Verpackung von elektronischen Chips; Industrieroboter; Maschinen und Ausrüstung für die plasmaunterstützte Herstellung von Halbleitergeräten, nämlich Vakuumbearbeitungsmaschinen für die plasmaunterstützte Abscheidung und Vakuummaschinen für die Abscheidung von dünnen Schichten; Maschinen zur plasmaverstärkten Abscheidung; Bauteile dafür und Dazugehörige Bestandteile
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Elektrische Reaktoren für die Verarbeitung von Halbleiter-Wafern; Reaktoren für die Bearbeitung von Halbleiterscheiben, nämlich, chemische Reaktoren für die thermische Bearbeitung von Halbleiterscheiben und Reaktoren für das Aufdampfen von chemischen Dämpfen; Elektronische Steuerungen, zur Verwendung in den folgenden Bereichen: Halbleiterindustrie; Elektronische Steuerungssysteme, zur Verwendung in Bezug auf folgende Waren: Maschinen zur Herstellung von Halbleitern; Chemische Laborreaktoren; Roboter als elektronische Steuerungsgeräte, nämlich, Laborroboter; Elektronische Maschinensteuerungen; Maschinen zur Halbleiterplättchenbearbeitung, nämlich, Reaktoren für die plasmaverstärkte Abscheidung; Elektronisch betriebene Apparate für die Herstellung von Halbleitern und die Abscheidung von dünnen Schichten auf Halbleiterplatten durch plasmaverstärkte Abscheidung; Konstruktionsteile und Bestandteile für alle vorstehend genannten Waren