4
Flüssige Betriebsstoffe (technische Öle und Fette) und Schmierstoffe (Gleitlacke) für Vakuumpumpen; technische Vakuum-Dichtungsfette
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Maschinen und Werkzeugmaschinen für Vakuumerzeugung und Dünnschichttechnologie; Maschinen für die Beschichtung von Werkzeugen und Bauteilen und daraus zusammengesetzte Anlagen; Beschichtungsmaschinen für optische und magnetische Datenspeichermedien und daraus zusammengesetzte Anlagen; Maschinen zum Beschichten und Ätzen von Komponenten und Bildschirmen und daraus zusammengesetzte Anlagen; Komponenten und Ersatzteile für Maschinen (soweit in Klasse 7 enthalten), nämlich Vakuumdurchführungen, Vakuumventilen, Vakuumsteuerungen; Vakuumpumpen (Maschinen); Rotationsvakuumpumpen (Maschinen), Treibmittelpumpen (Maschinen); Kondensationsvakuumpumpen (Maschinen); Sorbtionspumpen (Maschinen); Regel- und Steuergeräte für Vakuumpumpen, soweit in Klasse 7 enthalten; Vakuumabsperrschieber (Maschinen), Vakuumventile (Maschinenteil), Vakuumverbindungen (Maschinenteile) für Maschinen und Vakuumbauteile für Maschinen; Abscheider; Filter für Vakuumpumpen (Maschinen); maschinenartige Geräte für die Tieftemperaturtechnik; Lecksuchgeräte (Maschinen), insbesondere für die Feststellung von Lecks in Vakuum- und luftdichten Behältern; Vakuumapparate (Maschinen) zum Betrieb unter Grob-, Fein-, Hoch- und Ultrahochvakuum; Apparate zum Abfüllen, Imprägnieren (Maschinen), Mischen (Maschinen), Zerstäuben (Maschinen) oder Beschichten von Materialien unter Vakuum; maschinelle Apparate zur Behandlung von Metallen im Vakuum; Energieversorgungsgeneratoren als Teile von Energieversorgungsanlagen für Raumfahrtgeräte, Raumsonden, Raumstationen, Raumlaboratorien und Satelliten; Quecksilberdampfturbinen; Montageautomaten (Maschinen) für die Halbleiterindustrie; Produktionsanlagen (Maschinen) zur Herstellung von Flachbildschirmen; Triebwerke für Fahrzeuge (ausgenommen Landfahrzeuge), insbesondere Rückstoßtriebwerke, Staustrahltriebwerke, Feststoff- und Flüssigkeitsraketen (Antriebe), Gasturbinentriebwerke, auch für elektrische Raumfahrtantriebe
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Optische Apparate und Instrumente; optische Bauteile für Daten- und Videoprojektion, Beleuchtungsindustrie, Sensorik, Instrumentenbau sowie Biotechnologie; optische und elektronische Bauteile mit Oberflächen-Vergütungen; Komponenten und Ersatzteile für Vakuumbeschichtungsanlagen, nämlich elektronische Steuer- und Regelgeräte; Totaldruck-Sensoren (Meßgerät), Meßgeräte und Steuergeräte, nämlich für die Messung des Totaldrucks in Vakuumanlagen, Partialdruck-Meßgeräte für Vakuumanlagen; Gasanalysegeräte, insbesondere für die Bestimmung der Gaszusammensetzung bei tiefen und hohen Drucken; elektronische Lecksucher zur Feststellung von Lecks in vakuum- und in luftdichten Behältern, Sputterkathoden (hochvakuumbasiert), Sputtertargets (hochvakuumbasiert) für Vakuumanlagen, Sputterabschirmungen (hochvakuumbasiert), Sputtermasken (hochvakuumbasiert), Bedampfungsfilamente (elektrisch betriebene Glühwendel) für Vakuumanlagen, Bedampfungsschiffchen (Behälter) für Vakuumanlagen, insbesondere Keramiktiegel; Geräte für Aufnahme, Aussendung, Übertragung, Empfang, Wiedergabe und Bearbeitung von Lauten, Zeichen und/oder Bildern; Nachrichtensatelliten, Sender, Geräte der leitungsgebundenen und der drahtlosen Informationsgewinnungstechnik, der Informationsübertragungstechnik und der Informationsverarbeitungstechnik, einschließlich der Höchstfrequenz- und Schalltechnik, Funkpeilanlagen, Radar- und Ortungsgeräte, Radarsonden und Navigationsgeräte, Laser-Geräte für die Gewinnung, Übertragung und Verarbeitung von Informationen, Sonar-Geräte, Nachtsichtgeräte, Ultraschallgeräte, fotoelektrische Meß-, Steuer- und Regelgeräte, Fernlenkgeräte zur Erzeugung und drahtlosen oder drahtgebundenen Übertragung von Steuer- und Lenksignalen an unbemannte und bemannte Land-, Luft- und Wasserfahrzeuge sowie an unbemannte Flugkörper und Raumfahrtgeräte sowie aus diesen Geräten zusammengesetzte Anlagen; Geräte der Raumfahrtelektronik; Halbleiter; integrierte Schaltkreise; elektrotechnische Bauelemente (soweit in Klasse 09 enthalten); Meß- und Kontrollgeräte für Vakuumpumpen; Dichtheitsprüfapparate; Vakuummeßgeräte; Partialdruckmeßgeräte; Schichtdickenmeßgeräte; Gasanalysengeräte; thermoelektrische, solarthermische und photothermische Energiewandler; elektrische Solarzellen; elektronische Geräte zur Aufnahme des Emissionsspektrums der Sonne und zur Wiedergabe eines Emissionsspektrums vergleichbar mit dem der Sonne; Satelliten für wissenschaftliche Zwecke und Teile davon; Regel- und Steuergeräte für Vakuumpumpen, soweit in Klasse 9 enthalten; elektrische Regelgeräte für Vakuumanwendungen; Akkumulatoren (elektrisch) für Raumfahrtgeräte, Raumsonden, Raumstationen, Raumlaboratorien und Satelliten
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Apparate zum Trocknen, Gefriertrocknen, Schmelzen, Entgasen, Verdampfen oder Bedampfen von Materialen unter Vakuum
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Flugkörper, nämlich unbemannte Luftfahrzeuge, insbesondere ferngesteuerte Luftfahrzeuge mit oder ohne Rückstoßantrieb; Teile von Flugkörpern, soweit in Klasse 12 enthalten; Raumfahrtgeräte, insbesondere Raumsonden und steuerbare Raumflugkörper; Teile von Raumfahrtgeräten, soweit in Klasse 12 enthalten; Teile von Triebwerke für Fahrzeuge (ausgenommen Landfahrzeuge) und deren Teile; Raketen und Teile von Raketen, insbesondere Nutzlastverkleidungen für Trägerraketen
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