7
Maschinen für die Bearbeitung von Halbleitern, Solarzellen, Fasern und sonstigen Substraten; Maschinen zum Ätzen von Halbleiteroberflächen; Maschinen zur Bedampfung oder Beschichtung von Halbleiteroberflächen, unter Vakuum [sog. CVD-Verfahren] oder atmosphärisch oder unter Plasma-Einwirkung; Maschinen zur Beförderung von Waren [atmosphärisch oder subatmosphärisch oder unter vordefinierter Gasatmosphäre]; Maschinen für plasmabasierte Beschichtungen; Maschinen zur atomaren Schichtabscheidung [ALD atomic layer deposition]; maschinelle Anlagen und Geräte für thermische Bearbeitungs- oder Fertigungsprozesse, nämlich Beschichtungsanlagen, Annealinganlagen, Anlagen zum Vakuumloten, Anlagen zur chemischen Dampfphasenabscheidung [CVD-Anlagen]; Maschinen für thermisches Schichtwachstum und thermische Schichtumwandlungen
9
Hard- und Software zum Betrieb hier vorgenannter Waren der Klassen 7 und 11 [soweit in Klasse 9 enthalten]
11
Einbrennöfen; Vakuumöfen; Laminieröfen; Maschinen zur thermischen, trockenen und nasschemischen Abgas- bzw. Gasreinigung; Maschinen für die thermische Bearbeitung von Halbleitern, Solarzellen, Fasern und sonstigen Substraten sowie deren thermische Bearbeitung unter Vakuum; Annealinganlagen bestehend aus Öfen als Teile von Maschinen für die thermische Behandlung von Oberflächen und Gegenständen; Diffusionsöfen, Durchlauföfen, Beschichtungsöfen als Teile von Maschinen für die thermische Behandlung von Oberflächen und Gegenständen; Anlagen zur Behandlung und Reinigung von Gasen und Abgasen, nämlich Abgasreinigungsanlagen; Diffusionsöfen, Durchlauföfen, Einbrennöfen als Teile von Anlagen und Geräten für thermische Bearbeitungs oder Fertigungsprozesse; aus Maschinen bestehende strahlungsbasierte Schnellheizanlagen; Öfen für thermisches Schichtwachstum und thermische Schichtumwandlungen
37
Bauwesen, Reparaturwesen, Installations- und Wartungsarbeiten in Bezug auf Maschinen und Werkzeugmaschinen sowie deren Einzelteile, insgesamt jeweils für die Fertigung und Bearbeitung von Solarzellen [schlüsselfertige Lösungen], Halbleiter, Fasern und Rohstoffen hierfür; Dienstleistungen zur Montage von Halbleiterbauelementen, sowohl atmosphärisch als auch subatmosphärisch
The designations have been translated automatically. Show translation