7
Maschinen für die Bearbeitung von Halbleitern, Solarzellen, Fasern und sonstigen Substraten; Maschinen zum Ätzen von Halbleiteroberflächen; Maschinen zur Bedampfung oder Beschichtung von Halbleiteroberflächen, unter Vakuum [sog. CVD-Verfahren] oder atmosphärisch oder unter Plasma-Einwirkung; Maschinen zur Beförderung [atmosphärisch oder subatmosphärisch oder unter vordefinierter Gasatmosphäre]; aus Maschinen bestehende strahlungsbasierte Schnellheizanlagen und plasmabasierte Maschinen und deren Kombination; Maschinen zur atomaren Schichtabscheidungsanlagen [ALD = atomic layer deposition]; Anlagen und Geräte für thermische Bearbeitungs- oder Fertigungsprozesse, nämlich Beschichtungsanlagen, Annealinganlagen, Vakuumlöten, Anlagen zur chemischen Dampfphasenabscheidung [CVD-Anlagen]; Maschinen, Öfen für thermisches Schichtwachstum und thermische Schichtumwandlungen
9
Hard- und Software zum Betrieb hier vorgenannter Waren der Klassen 7 und 11 [soweit in Klasse 9 enthalten]
11
Einbrennöfen; Vakuumöfen; Laminieröfen; Maschinen zur thermischen, trockenen und nasschemischen Abgas- bzw. Gasreinigung; Maschinen für die thermische Bearbeitung von Halbleitern, Solarzellen, Fasern und sonstigen Substraten sowie deren thermische Bearbeitung unter Vakuum; Maschinen für die thermische Behandlung von Oberflächen und Gegenständen, nämlich Diffusionsöfen, Durchlauföfen, Beschichtungsöfen, Annealinganlagen; Anlagen zur Behandlung und Reinigung von Gasen und Abgasen, nämlich Abgasreinigungsanlagen; Anlagen und Geräte für thermische Bearbeitungs- oder Fertigungsprozesse, nämlich Diffusionsöfen, Durchlauföfen, Einbrennöfen
37
Bauwesen, Reparaturwesen, Installations- und Wartungsarbeiten in Bezug auf Maschinen und Werkzeugmaschinen sowie deren Einzelteile, insgesamt jeweils für die Fertigung und Bearbeitung von Solarzellen [schlüsselfertige Lösungen], Halbleiter, Fasern und Rohstoffen hierfür; Dienstleistungen zur Montage von Halbleiterbauelementen, sowohl atmosphärisch als auch subatmosphärisch
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