1
Chemische Erzeugnisse als Oberflächenbeschichtungen und dünne Schichten aus organischen und anorganischen Materialien, insbesondere diamantähnliche Beschichtungen; Chemische Erzeugnisse als Metallbeschichtungen und Metallkeramikbeschichtungen mit nicht überwiegendem Metallanteil
6
Metallbeschichtungen und Metallkeramikbeschichtungen mit überwiegendem Metallanteil; Zerstäubungstargets, Funkentargets
7
Vakuumapparate aller Art, insbesondere Vakuumabscheidemaschinen zur Verbesserung des Verschleisswiderstandes von Werkzeugen und/oder Präzisionskomponenten, vorzugsweise aus Metall, Keramik und/oder Kunststoffen gemacht; Apparate für die Behandlung aller Arten von Oberflächen, insbesondere für die chemische Reinigung oder Entschichtung und mechanische Oberflächenbehandlung (von in einer Vakuumanlage zu beschichtenden Substraten); Zerstäubungsabschirmungen, Funkenverdampfer
9
Apparate und Instrumente für die Leitung, die Verteilung, die Umwandlung, die Speicherung, die Regulierung oder die Steuerung von elektrischem Strom; Zerstäubungskathoden
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Wissenschaftliche und technologische Dienstleistungen und forschungsarbeiten und diesbezügliche Designerdienstleistungen; industrielle Analyse und Forschungsdienstleistungen; Entwicklungsdienste für Dritte bezüglich neuer Vakuumapparate, welche zur Oberflächenbeschichtung notwendig sind; technische Projektplanung bezüglich Vakuumapparaten, welche zur Oberflächenbeschichtung notwendig sind
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