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Computersoftware und -hardware zur Verwendung bei der Feststellung, Überwachung und Analyse von verschiedenen festen, flüssigen und gasförmigen Schadstoffen; Software und Hardware zum Zählen von Schadstoffteilchen; Software und Hardware für die Überwachung der Polierung und Planarisierung von Schlämmen; Software und Hardware für die kontinuierliche Überwachung der Wasserstoffperoxidkonzentration; Reinheitsteststationen, teilweise bestehend aus Computerhardware, Computersoftware oder Computerperipheriegeräten
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Installation, Wartung und Reparatur, nämlich Installation, Wartung und Reparatur von Computerhardware für: die Feststellung, Überwachung und Analyse von verschiedenen festen, flüssigen und gasförmigen Schadstoffen, die Feststellung, Überwachung und Analyse der Wasserstoffperoxidkonzentration, die Zählung von Schadstoffteilchen, die Überwachung der Polierung und Planarisierung von Schlämmen und für Reinheitstests
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Bildungs- und Schulungsdienstleistungen, nämlich Bereitstellung von Schulungsprogrammen und Seminaren für den Betrieb, die Wartung, Reparatur und Kalibrierung von Systemen für: die Feststellung, Überwachung und Analyse von verschiedenen festen, flüssigen und gasförmigen Schadstoffen, die Feststellung, Überwachung und Analyse der Wasserstoffperoxidkonzentration, die Zählung von Schadstoffteilchen, die Überwachung der Polierung und Planarisierung von Schlämmen und für Reinheitstests
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Installation, Wartung und Reparatur, nämlich Installation, Wartung und Reparatur von Computersoftware für: die Feststellung, Überwachung und Analyse von verschiedenen festen, flüssigen und gasförmigen Schadstoffen, die Feststellung, Überwachung und Analyse der Wasserstoffperoxidkonzentration, die Zählung von Schadstoffteilchen, die Überwachung der Polierung und Planarisierung von Schlämmen und für Reinheitstests; Entwicklung von Computerprogrammen für die Beschreibung und Gestaltung von Herstellungsprozessen in Bezug auf Schadstoffe, Reinheit und Wasserstoffperoxidkonzentrationen; Entwicklung von Computerprogrammen für die Fehlersuche und -beseitigung in Herstellungsprozessen in Bezug auf Schadstoffe, Reinheit und Wasserstoffperoxidkonzentrationen; Entwicklung von Computerprogrammen für die Entwicklung von Produkttauglichkeitsverfahren, Testmethoden und -techniken in Bezug auf Schadstoffe, Reinheit und Wasserstoffperoxidkonzentrationen; Entwicklung von Computerprogrammen für Fertigungsstandortstudien in Bezug auf Schadstoffe, Reinheit und Wasserstoffperoxidkonzentrationen; Entwicklung von Computerprogrammen für Testverfahren vor Ort in Bezug auf Schadstoffe, Reinheit und Wasserstoffperoxidkonzentrationen; Entwicklung von Computerprogrammen für Testleistungen in Bezug auf Mikroverunreinigungen; Entwicklung von Computerprogrammen für Labortests in Bezug auf Schadstoffe, Reinheit und Wasserstoffperoxidkonzentrationen
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