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Mikromaschinen, Mikromotoren, ausgenommen für Landfahrzeuge, insbesondere in Form von Aktuatoren, nämlich Pumpen, Ventile, Motoren, Stellglieder und Stellantriebe, insbesondere in Mikrometer- und Submikrometerdimensionen
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Elektrotechnische, elektronische, optische und optoelektronische, piezoelektrische, magnetische, chemische, biochemische, biologische, fluidische, thermische, mechanische und auf deren Kombination basierende, auch lasergestützte, Laborgeräte, Analysegeräte, Probenentnahmegeräte und Messgeräte; nicht-medizinische Laser, optische Geräte, nicht-medizinische Laserstrahllampen auch in Mikrometer- und Submikrometerdimensionen, soweit in Klasse 9 enthalten; Geräte zur Replikation, Analyse und Charakterisierung von Mikro- und Submikrostrukturen und optischen Komponenten; Sensoren, auch optische Sensoren, auf Mikrotechnik basierende biologische und chemische Sensoren, Messfühler; nicht-medizinische Mikromessgeräte und -apparate, Mikroanalysegeräte und -apparate enthaltend als integrale Bestandteile Mikromotoren, Mikroschalter, Mikrosteller, Mikrorelais, Mikrospulen, Mikrokanäle, Mikrokammern, Mikroreaktoren, Aktuatoren, nämlich Pumpen, Ventile, Stellglieder und Stellantriebe sowie diese verbindende und steuernd oder regelnde elektronische, insbesondere integrierte, Schaltungen und elektronische Bauteile, alle vorgenannten Waren soweit in Klasse 9 enthalten; Teile aller vorgenannten Waren soweit in Klasse 9 enthalten
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Medizinaltechnische, für medizinische, therapeutische Zwecke bestimmte elektrotechnische, elektronische, optische und optoelektronische, piezoelektrische, magnetische, chemische, biochemische, biologische, fluidische, thermische, mechanische und auf deren Kombination basierende, auch lasergestützte, Geräte, medizinaltechnische Analysegeräte, Probenentnahmegeräte und Messgeräte, auch in Mikrometer- und Submikrometerdimensionen, soweit in Klasse 10 enthalten; medizinaltechnische, für medizinische, therapeutische Zwecke bestimmte Laser, optische Geräte und Laserstrahllampen auch in Mikrometer- und Submikrometerdimensionen, soweit in Klasse 10 enthalten; medizinaltechnische, für medizinische, therapeutische Zwecke bestimmte Sensoren, auch optische Sensoren, auf Mikrotechnik basierende biologische und chemische Sensoren, Messfühler, Mikromessgeräte und -apparate, Mikroanalysegeräte und -apparate für medizinische Zwecke enthaltend als integrale Bestandteile Mikromotoren, Mikroschalter, Mikrosteller, Mikrorelais, Mikrospulen, Mikrokanäle, Mikrokammern, Mikroreaktoren, Aktuatoren, nämlich Pumpen, Ventile, Stellglieder und Stellantriebe sowie diese verbindende und steuernd oder regelnde elektronische, insbesondere integrierte, Schaltungen und elektronische Bauteile, alle vorgenannten Waren soweit in Klasse 10 enthalten; Teile aller vorgenannten Waren soweit in Klasse 10 enthalten
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Ingenieurarbeiten; Erstellung von technischen Gutachten; Konstruktions- und technische Projektplanung; Material-, Qualitäts- und Werkstoffprüfung; physikalische Forschungen und Forschungen auf dem Gebiet von Wissenschaft und Technik, auch der Elektronik, Sensorik und des Maschinenbaus, auch auf den Gebieten der Mikro- und Submikrotechnik, Mikro- und Submikrooptik, Gentechnik, Biotechnologie, Medizin- und Medizinaltechnik sowie Lasertechnik; Entwicklungsdienste bezüglich neuer Produkte auf dem Gebiet Elektronik, Sensorik, Optik, Biologie, Diagnostik, insbesondere auf dem Gebiet der Medizin; Ersellung und Vermietung von Computer-Software; Vermietung von elektrotechnischen, elektronischen, optischen und optoelektronischen, piezoelektrischen, magnetischen, chemischen, biochemischen, biologischen, fluidischen, thermischen, mechanischen und auf deren Kombination basierende, auch lasergestützten, wissenschaftlichen Geräten, Analysegeräten, Probeentnahmegeräten und Messgeräten, einzeln oder in einer Wirkeinheit zu Baugruppen zusammengefügt; Eichen und Kalibrieren